[實用新型]一種用于半導體芯片的磨削裝置

有效

• 申請號: 202020922535.5
• 申請日: 2020-05-27
• 公開（公告）號: CN213164516U
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 王曉東
• 申請（專利權）人: 海南澎海電子科技有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B41/06;B24B41/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京國謙專利代理事務所(普通合伙) 11752
• 代理人: 肖應國

本實用新型涉及芯片加工設備技術領域，且公開了一種用于半導體芯片的磨削裝置，包括固定基座，所述固定基座的一側固定安裝有旋轉電機，所述旋轉電機輸出軸的頂端固定套接有螺紋桿，所述螺紋桿的兩側螺紋套接有螺紋套，所述螺紋套的頂端固定安裝有支撐桿，所述支撐桿的頂端固定套接有磨削砂輪，所述磨削砂輪的中部固定套接有驅動電機。本實用新型通過在固定基座的一側設置一個旋轉電機，使得旋轉電機可以帶動螺紋桿旋轉，從而使得螺紋桿上螺紋套接的螺紋套開始移動，使得螺紋套在限位滑槽內滑動并帶動支撐桿移動，從而實現精準調節磨削砂輪的目的，使得磨削加工的更加精準，保證芯片的質量，提高了裝置的實用性。

技術領域

本實用新型涉及芯片加工設備技術領域，具體為一種用于半導體芯片的磨削裝置。

背景技術

半導體芯片即在半導體片材上進行浸蝕，布線，制成的能實現某種功能的半導體器件，被稱作半導體芯片。

半導體芯片在使用之前需要根據需要實現的功能進行制造，制造完成后還需要一系列的加工，才能投入使用，而在加工的最終工序中，磨削工序是作為關鍵的一步，一但磨削過度或者磨削程度不夠都無法使用，現有的磨削裝置在進行磨削時沒有一個很好的移動砂輪的裝置，使得有時磨削會過度，導致芯片損壞，憑空增加成本，并且現有的裝置在進行芯片固定時，不夠穩固，使得芯片會發生移位的情況出現，一但移位將會導致磨削過度，為此提出一種用于半導體芯片的磨削裝置。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種用于半導體芯片的磨削裝置，具備移動流暢，磨削精度高，固定穩固且不傷芯片的優點，解決了上述背景技術提出的問題。

本實用新型提供如下技術方案：一種用于半導體芯片的磨削裝置，包括固定基座，所述固定基座的一側固定安裝有旋轉電機，所述旋轉電機輸出軸的頂端固定套接有螺紋桿，所述螺紋桿的兩側螺紋套接有螺紋套，所述螺紋套的頂端固定安裝有支撐桿，所述支撐桿的頂端固定套接有磨削砂輪，所述磨削砂輪的中部固定套接有驅動電機，所述固定基座上表面的中部固定安裝有升降桿，所述升降桿的頂端固定安裝有磨削底座，所述磨削底座的頂部固定安裝有下吸盤，所述固定基座中部的一側固定安裝有支撐板，所述支撐板的底部固定套接有伸縮桿，所述伸縮桿的底部固定套接有上吸盤，所述上吸盤頂部的側面固定套接有負壓裝置。

精選的，所述螺紋桿的中部固定套接有限位塊，且螺紋桿的另一端固定套接在固定基座內腔的側壁上，所述限位塊卡接在固定基座內腔的中部。

精選的，所述螺紋套的外側滑動連接有限位滑槽，所述限位滑槽開設在固定基座的兩側。

精選的，所述支撐桿的底部固定套接有卡位板，所述卡位板卡接在限位滑槽的頂部。

精選的，所述磨削底座的形狀為圓形，且磨削底座的頂部的側面設置有限位塊。

精選的，所述伸縮桿的底部固定套接有緩沖彈簧，所述緩沖彈簧的底端固定安裝在上吸盤的頂部。

與現有技術對比，本實用新型具備以下有益效果：

1、本實用新型通過在固定基座的一側設置一個旋轉電機，使得旋轉電機可以帶動螺紋桿旋轉，從而使得螺紋桿上螺紋套接的螺紋套開始移動，使得螺紋套在限位滑槽內滑動并帶動支撐桿移動，從而實現精準調節磨削砂輪的目的，使得磨削加工的更加精準，保證芯片的質量，提高了裝置的實用性。

2、本實用新型通過在磨削底座的頂部設置下吸盤，從而當芯片放置在其上時，利用下吸盤將芯片吸住，保證芯片的穩定性，然后利用伸縮桿下壓上吸盤，從而徹底將芯片固定住，之后在利用負壓裝置抽真空，從而將芯片牢牢的吸附在上吸盤上，固定穩固的同時還不會損傷芯片，提高了裝置的安全性。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型結構俯視示意圖。