[實用新型]一種加熱板式蒸發源有效
| 申請號： | 202020904037.8 | 申請日： | 2020-05-26 |
| 公開（公告）號： | CN212247186U | 公開（公告）日： | 2020-12-29 |
| 發明（設計）人： | 臧世偉;劉文卿 | 申請（專利權）人： | 重慶金美新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市遠航專利商標事務所(普通合伙) 44276 | 代理人： | 張朝陽;田藝兒 |
| 地址： | 401420 重*** | 國省代碼： | 重慶;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加熱 板式 蒸發 | ||
1.一種加熱板式蒸發源，其特征在于，包括長槽形坩堝以及鋪設于所述長槽形坩堝底部的加熱部件，所述長槽形坩堝內設有放置金屬蒸鍍材料的容置腔，所述加熱部件包括載體以及發熱體，所述發熱體均勻鋪設于所述載體的表面，所述發熱體與電源連接。
2.根據權利要求1所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述長槽形坩堝呈倒梯形結構，所述容置腔呈倒梯形結構。
3.根據權利要求1所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述長槽形坩堝的材料為耐高溫材料。
4.根據權利要求1所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述載體上設有蛇形槽，所述發熱體沿著所述蛇形槽均勻鋪設于載體上。
5.根據權利要求1所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述長槽形坩堝的長度為120cm-140cm。
6.根據權利要求2所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述長槽形坩堝的上底邊的寬度為30cm-50cm。
7.根據權利要求1所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述長槽形坩堝的高度為30cm-40cm。
8.根據權利要求1所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述容置腔的底部至所述長槽形坩堝的底部的厚度為1cm-5cm。
9.根據權利要求1所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述容置腔的槽邊厚度為1cm-3cm。
10.根據權利要求9所述的加熱板式蒸發源，其特征在于，所述槽邊與所述長槽形坩堝的鍋底呈α角度傾斜固定，其中，90°α180°。
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