[實用新型]一種防腐蝕的單晶硅片

有效

• 申請號: 202020868205.2
• 申請日: 2020-05-22
• 公開（公告）號: CN212085016U
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 張弓
• 申請（專利權）人: 新沂市棋盤工業集中區建設發展有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/0352;C30B29/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種防腐蝕的單晶硅片，包括單晶硅片本體（1），其特征在于：所述單晶硅片本體（1）的外表面設置有材料基層（2），所述材料基層（2）遠離單晶硅片本體（1）的一側設置有加強層（3），所述加強層（3）遠離材料基層（2）的一側設置有制絨層（4），所述制絨層（4）遠離加強層（3）的一側設置有防腐層（5），所述防腐層（5）包括二氧化硅層（51），所述二氧化硅層（51）遠離防腐層（5）的一側設置有單晶硅薄膜層（52）。

2.根據權利要求1所述的一種防腐蝕的單晶硅片，其特征在于：所述材料基層（2）包括石英石材料層（21），所述石英石材料層（21）遠離材料基層（2）的一側設置有金剛石基層（22）。

3.根據權利要求1所述的一種防腐蝕的單晶硅片，其特征在于：所述加強層（3）包括多晶硅層（31），所述多晶硅層（31）遠離加強層（3）的一側設置有無定形硅層（32），所述多晶硅層（31）的厚度與無定形硅層（32）的厚度相同。

4.根據權利要求1所述的一種防腐蝕的單晶硅片，其特征在于：所述單晶硅片本體（1）的外表面與加強層（3）的內表面接觸，所述加強層（3）的外表面與制絨層（4）的內表面接觸，所述制絨層（4）的外表面與防腐層（5）的內表面接觸。

5.根據權利要求1所述的一種防腐蝕的單晶硅片，其特征在于：所述加強層（3）的厚度與制絨層（4）的厚度相同，所述制絨層（4）的厚度與防腐層（5）的厚度相同。