[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020851162.7
• 申請日: 2020-05-20
• 公開（公告）號: CN212287283U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周伯成;張正偉
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽富樂德科技發(fā)展股份有限公司
• 主分類號: B24C3/32
• 分類號: B24C3/32;B24C9/00
• 代理公司: 銅陵市天成專利事務(wù)所(普通合伙) 34105
• 代理人: 李坤

本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具，包括連接角鋼、置臺和固定銷，所述連接角鋼頂部焊接有置臺，所述置臺頂部焊接有管體且管體內(nèi)部套設(shè)有拉桿，所述置臺內(nèi)部通過軸承安裝有制動齒輪，所述制動齒輪一端通過插銷固定有連接柱，所述連接柱外側(cè)套設(shè)有防護(hù)罩且連接柱一端焊接有固定銷，所述固定銷頂部兩端開設(shè)預(yù)留槽，所述預(yù)留槽內(nèi)部通過轉(zhuǎn)軸連接有防滑塊，所述固定銷、連接柱和置臺外表面均噴涂有防護(hù)層。本實(shí)用新型可以將待清潔的石墨棒固定住，進(jìn)行噴砂處理，同時(shí)可以翻轉(zhuǎn)，防護(hù)性能好，適合被廣泛推廣和使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及洗凈噴砂治具技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具。

背景技術(shù)

對柱形石墨部件進(jìn)行洗凈作業(yè)，需要對石墨部件表面進(jìn)行深度清洗，去除附著的殘膜及石墨碎片，常規(guī)清洗方法是經(jīng)過物理及化學(xué)清洗后，沖洗，吹干。但因石墨棒較長，以上步驟均由人工手執(zhí)石墨棒進(jìn)行操作，特別是噴砂時(shí)手執(zhí)石墨棒極易造成噴砂不均勻，局部噴砂過度，造成石墨棒損壞，為此，我們提出一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具，可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為：

一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具，包括連接角鋼、置臺和固定銷，所述連接角鋼頂部焊接有置臺，所述置臺頂部焊接有管體且管體內(nèi)部套設(shè)有拉桿，所述置臺內(nèi)部通過軸承安裝有制動齒輪，所述制動齒輪一端通過插銷固定有連接柱，所述連接柱外側(cè)套設(shè)有防護(hù)罩且連接柱一端焊接有固定銷，所述固定銷頂部兩端開設(shè)預(yù)留槽，所述預(yù)留槽內(nèi)部通過轉(zhuǎn)軸連接有防滑塊，所述固定銷、連接柱和置臺外表面均噴涂有防護(hù)層。

進(jìn)一步地，所述拉桿外側(cè)套設(shè)有一號彈簧且拉桿底端通過螺紋槽連接有卡板，所述卡板和一號彈簧均位于管體內(nèi)部。

進(jìn)一步地，所述防護(hù)罩和固定銷均位于置臺外側(cè)，所述防護(hù)層為特氟龍材料制成。

進(jìn)一步地，所述連接柱外側(cè)一套設(shè)有防護(hù)套且防護(hù)套位于置臺一側(cè)。

進(jìn)一步地，所述防滑塊和預(yù)留槽之間通過安裝槽安裝有二號彈簧。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益效果：

1.通過設(shè)置置臺、固定銷和連接柱，人員使用螺栓將連接角鋼固定于平臺或結(jié)構(gòu)架兩端，將待清洗的石墨棒通過安裝槽套在固定銷外側(cè)，即可對石墨棒進(jìn)行噴砂、清潔處理，待石墨棒頂部噴砂完成后，人員拉動拉桿帶動卡板上移，使卡板離開制動齒輪一側(cè)，即可轉(zhuǎn)動連接柱帶動套在固定銷外側(cè)的石墨棒翻轉(zhuǎn)，方便對石墨棒底部進(jìn)行噴砂，松開拉桿后，一號彈簧推動拉桿底端的卡板插入制動齒輪內(nèi)部，固定住轉(zhuǎn)動后的制動齒輪和固定銷，固定銷兩端的防滑塊在二號彈簧推動下伸出，可以防止石墨棒從固定銷上滑出。

2.通過設(shè)置防護(hù)罩、防護(hù)套和防護(hù)層，防護(hù)套在連接柱和置臺之間起到密封作用，防止噴砂時(shí)砂石進(jìn)入置臺內(nèi)，影響制動齒輪的轉(zhuǎn)動，防護(hù)罩套在防護(hù)罩外側(cè)，可以對防護(hù)套進(jìn)行保護(hù)，避免防護(hù)套被砂石的沖擊出現(xiàn)破損，防護(hù)層為特氟龍材料制成，噴涂于置臺、固定銷和連接柱表面，具有耐腐蝕功能，可以防止置臺、固定銷和連接柱生銹、腐蝕。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具的置臺內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具的預(yù)留槽內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型一種半導(dǎo)體設(shè)備EPM裝置部件洗凈噴砂治具的置臺、固定銷和連接柱外部材料剖面圖。