[實用新型]一種半導體設備EPM裝置部件洗凈噴砂治具

有效

• 申請號: 202020851162.7
• 申請日: 2020-05-20
• 公開（公告）號: CN212287283U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 周伯成;張正偉
• 申請（專利權）人: 安徽富樂德科技發展股份有限公司
• 主分類號: B24C3/32
• 分類號: B24C3/32;B24C9/00
• 代理公司: 銅陵市天成專利事務所(普通合伙) 34105
• 代理人: 李坤

1.一種半導體設備EPM裝置部件洗凈噴砂治具，包括連接角鋼（1）、置臺（2）和固定銷（3），其特征在于：所述連接角鋼（1）頂部焊接有置臺（2），所述置臺（2）頂部焊接有管體（6）且管體（6）內部套設有拉桿（7），所述置臺（2）內部通過軸承安裝有制動齒輪（9），所述制動齒輪（9）一端通過插銷固定有連接柱（4），所述連接柱（4）外側套設有防護罩（5）且連接柱（4）一端焊接有固定銷（3），所述固定銷（3）頂部兩端開設預留槽（14），所述預留槽（14）內部通過轉軸連接有防滑塊（8），所述固定銷（3）、連接柱（4）和置臺（2）外表面均噴涂有防護層（15）。

2.根據權利要求1所述的一種半導體設備EPM裝置部件洗凈噴砂治具，其特征在于：所述拉桿（7）外側套設有一號彈簧（10）且拉桿（7）底端通過螺紋槽連接有卡板（11），所述卡板（11）和一號彈簧（10）均位于管體（6）內部。