[實用新型]一種二維精密微動平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020835729.1
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN211957127U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋嘉誠;沈劍英;許澤宇;趙江;沈哲鵬;劉德茂;何安康
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興學(xué)院
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 紹興市寅越專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33285
• 代理人: 焦亞如

本實用新型提供一種二維精密微動平臺，包括基座、運(yùn)動平臺、兩個驅(qū)動器、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)以及兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述基座上開設(shè)有用于容置運(yùn)動平臺、兩個驅(qū)動器、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)以及兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的安裝槽，所述運(yùn)動平臺設(shè)置在安裝槽的中心位置且呈正方形，兩個驅(qū)動器、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)、兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均沿運(yùn)動平臺的對角線對稱分布，所述斯科特放大機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與運(yùn)動平臺、基座之間均通過柔性鉸鏈相連，所述驅(qū)動器驅(qū)動連接斯科特放大機(jī)構(gòu)。斯科特放大機(jī)構(gòu)能夠放大驅(qū)動器的輸出位移，能夠達(dá)到更高精度的亞微米甚至納米級定位要求。通過設(shè)置兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)配合兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，只需兩個驅(qū)動器即能夠?qū)崿F(xiàn)運(yùn)動平臺的X、Y軸方向的移動。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及微位移技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種二維精密微動平臺。

背景技術(shù)

精密微定位技術(shù)是先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域的重要組成部分，也是21世紀(jì)的科技前沿納米技術(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)之一，它的發(fā)展是其它尖端技術(shù)的基礎(chǔ)。常規(guī)的微位移定位系統(tǒng)往往采用伺服電機(jī)驅(qū)動和精密絲杠傳動的方案，但這種定位方式由于螺紋間隙和傳動摩擦的存在，其定位精度一般只能達(dá)到微米級。隨著微電子工業(yè)、宇航、生物工程等學(xué)科的發(fā)展，對微位移定位系統(tǒng)提出了更高精度的亞微米甚至納米級定位要。

實用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種二維精密微動平臺，能夠達(dá)到更高精度的亞微米甚至納米級定位要求。

(二)技術(shù)方案

為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種二維精密微動平臺，包括基座、運(yùn)動平臺、兩個驅(qū)動器、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)以及兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述基座上開設(shè)有用于容置運(yùn)動平臺、兩個驅(qū)動器、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)以及兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的安裝槽，所述運(yùn)動平臺設(shè)置在安裝槽的中心位置且呈正方形，兩個驅(qū)動器、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)、兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均沿運(yùn)動平臺的對角線對稱分布，所述斯科特放大機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與運(yùn)動平臺、基座之間均通過柔性鉸鏈相連，所述驅(qū)動器驅(qū)動連接斯科特放大機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括連桿一、連桿二、連桿三、連桿四、連接塊，所述連桿三、連桿四的一端通過柔性鉸鏈對稱連接在連接塊的兩側(cè)，所述連桿三、連桿四的另一端通過柔性鉸鏈與基座相連，所述連桿一、連桿二的一端通過柔性鉸鏈對稱連接在運(yùn)動平臺的兩側(cè)且與連桿三、連桿四平行，所述連桿一的另一端通過柔性鉸鏈與另一個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的連接塊相連，所述連桿二的另一端通過柔性鉸鏈與斯科特放大機(jī)構(gòu)相連。

優(yōu)選的，所述斯科特放大機(jī)構(gòu)由桿件三、桿件一、桿件二依次通過柔性鉸鏈連接而成，所述桿件二的另一端通過柔性鉸鏈與基座相連，所述桿件一通過柔性鉸鏈與連桿二相連，所述驅(qū)動器與桿件三驅(qū)動連接。

優(yōu)選的，所述基座、運(yùn)動平臺、斯科特放大機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)呈一體式結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述柔性鉸鏈呈雙邊圓弧結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動器為壓電陶瓷驅(qū)動器。

優(yōu)選的，所述運(yùn)動平臺、驅(qū)動器、斯科特放大機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的板面厚度為10-12mm。

(三)有益效果

本實用新型提供了一種二維精密微動平臺。具備以下有益效果：

1、該二維精密微動平臺，運(yùn)動平臺與基座之間通過斯科特放大機(jī)構(gòu)連接，能夠放大驅(qū)動器的輸出位移，增大運(yùn)動平臺的行程，能夠達(dá)到更高精度的亞微米甚至納米級定位要求。通過設(shè)置兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)配合兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，只需兩個驅(qū)動器即能夠?qū)崿F(xiàn)運(yùn)動平臺的X、Y軸方向的移動。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的運(yùn)動平臺的X方向位移原理圖。