[實(shí)用新型]一種二維精密微動平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020835729.1
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN211957127U
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋嘉誠;沈劍英;許澤宇;趙江;沈哲鵬;劉德茂;何安康
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興學(xué)院
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 紹興市寅越專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33285
• 代理人: 焦亞如

1.一種二維精密微動平臺，其特征在于：包括基座(1)、運(yùn)動平臺(2)、兩個驅(qū)動器(4)、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)以及兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述基座(1)上開設(shè)有用于容置運(yùn)動平臺(2)、兩個驅(qū)動器(4)、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)以及兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的安裝槽(3)，所述運(yùn)動平臺(2)設(shè)置在安裝槽(3)的中心位置且呈正方形，兩個驅(qū)動器(4)、兩個斯科特放大機(jī)構(gòu)、兩個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)均沿運(yùn)動平臺(2)的對角線對稱分布，所述斯科特放大機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與運(yùn)動平臺(2)、基座(1)之間均通過柔性鉸鏈(13)相連，所述驅(qū)動器(4)驅(qū)動連接斯科特放大機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密微動平臺，其特征在于：所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括連桿一(8)、連桿二(9)、連桿三(10)、連桿四(11)、連接塊(12)，所述連桿三(10)、連桿四(11)的一端通過柔性鉸鏈(13)對稱連接在連接塊(12)的兩側(cè)，所述連桿三(10)、連桿四(11)的另一端通過柔性鉸鏈(13)與基座(1)相連，所述連桿一(8)、連桿二(9)的一端通過柔性鉸鏈(13)對稱連接在運(yùn)動平臺(2)的兩側(cè)且與連桿三(10)、連桿四(11)平行，所述連桿一(8)的另一端通過柔性鉸鏈(13)與另一個導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的連接塊(12)相連，所述連桿二(9)的另一端通過柔性鉸鏈(13)與斯科特放大機(jī)構(gòu)相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種二維精密微動平臺，其特征在于：所述斯科特放大機(jī)構(gòu)由桿件三(7)、桿件一(5)、桿件二(6)依次通過柔性鉸鏈(13)連接而成，所述桿件二(6)的另一端通過柔性鉸鏈(13)與基座(1)相連，所述桿件一(5)通過柔性鉸鏈(13)與連桿二(9)相連，所述驅(qū)動器(4)與桿件三(7)驅(qū)動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種二維精密微動平臺，其特征在于：所述基座(1)、運(yùn)動平臺(2)、斯科特放大機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)呈一體式結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種二維精密微動平臺，其特征在于：所述柔性鉸鏈(13)呈雙邊圓弧結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二維精密微動平臺，其特征在于：所述驅(qū)動器(4)為壓電陶瓷驅(qū)動器。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種二維精密微動平臺，其特征在于：所述運(yùn)動平臺(2)、驅(qū)動器(4)、斯科特放大機(jī)構(gòu)、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的板面厚度為10-12mm。