[實用新型]一種新型壓力傳感器有效
| 申請號： | 202020805562.4 | 申請日： | 2020-05-15 |
| 公開（公告）號： | CN212110410U | 公開（公告）日： | 2020-12-08 |
| 發明（設計）人： | 黃向向;楊敏;洛倫佐·貝爾蒂尼;萊昂納多·薩爾代利;盧卡·盧斯基;關健;梁澤山;孫斯佳;張曉磊;陳琳 | 申請（專利權）人： | 罕王微電子（遼寧）有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/18 | 分類號： | G01L1/18;G01L1/22 |
| 代理公司： | 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001 | 代理人： | 張晨 |
| 地址： | 113000 遼寧省撫順*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 壓力傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種新型壓力傳感器，其特征在于：所述的新型壓力傳感器，包括惠斯通主橋電阻R1，惠斯通主橋電阻R2，惠斯通主橋電阻R3，惠斯通主橋電阻R4，惠斯通次級橋電阻R1’，惠斯通次級橋電阻R2’，惠斯通次級橋電阻R3’，惠斯通次級橋電阻R4’，惠斯通主橋輸入電源，惠斯通次級橋輸入電源，惠斯通主橋輸出，惠斯通次級橋輸出，薄膜；
其中：惠斯通主橋電阻R1、惠斯通主橋電阻R2、惠斯通主橋電阻R4和惠斯通主橋電阻R3順次串聯形成惠斯通主橋，惠斯通主橋上帶有惠斯通主橋輸入電源和斯通主橋輸出端；惠斯通次級橋電阻R1’，惠斯通次級橋電阻R2’，惠斯通次級橋電阻R4’和惠斯通次級橋電阻R3’順次串聯形成惠斯通次級橋，惠斯通次級橋上帶有惠斯通次級橋輸入電源和惠斯通次級橋輸出端；薄膜設置在電阻上，用來感受外部壓力。
2.按照權利要求1所述的新型壓力傳感器，其特征在于：所述的各電阻為摻雜的硅或多晶硅材料件。
3.按照權利要求1所述的新型壓力傳感器，其特征在于：所述的薄膜為硅薄膜件。
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