[實用新型]一種圓形硅片清洗機構

有效

• 申請號: 202020802905.1
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN212434580U
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 馬玉水
• 申請（專利權）人: 馬玉水
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種圓形硅片清洗機構，其特征在于：包括架體及設置在架體上的前后排列的兩清洗槽、清洗裝置安裝架、清洗裝置安裝架擺動裝置、穩定裝置、活動安裝在清洗裝置安裝架上的清洗籃；

清洗裝置安裝架擺動裝置包括設置在兩清洗槽之間的第一橫向旋轉軸，第一橫向旋轉軸的左、右兩端分別對稱固定有等長的轉板，兩轉板的遠離第一橫向旋轉軸端分別套裝有一第二橫向旋轉軸，兩第二橫向旋轉軸的中軸線在同一直線上；清洗裝置安裝架的兩端分別與兩第二橫向旋轉軸相連；第一橫向旋轉軸與第一橫向旋轉軸驅動電機相連；

清洗裝置安裝架的底端的左、右兩端各設有垂直于第二橫向旋轉軸的立板，兩立板之間橫向安裝有清洗籃；清洗裝置安裝架的頂端橫向設有清洗驅動電機，清洗驅動電機與清洗籃的硅片旋轉驅動裝置相連；

穩定裝置包括兩縱桿、兩清洗裝置安裝架限位裝置；架體的頂端兩立板的正上方分別設有縱桿，各縱桿上垂直向套裝有一清洗裝置安裝架限位裝置，各清洗裝置安裝架限位裝置上設有一垂直向設置且開口朝下的第二橫向旋轉軸限位槽，各第二橫向旋轉軸分別位于距其最近的第二橫向旋轉軸限位槽內；當第一橫向旋轉軸轉動使清洗裝置安裝架出入兩清洗槽時，第二橫向旋轉軸在距其最近的第二橫向旋轉軸限位槽內升降運動且各清洗裝置安裝架限位裝置在其套裝的縱桿上往復運動。

2.如權利要求1所述的一種圓形硅片清洗機構，其特征在于：清洗籃包括的左右對稱設置的左縱板、右縱板，若干與左縱板、右縱板大小相同的分隔縱板、至少兩個橫向設置的定位夾持旋轉軸、一橫向設置的動位夾持旋轉軸、若干橫向設置的連接軸；左縱板、右縱板與各分隔縱板通過連接軸固定連接；

各定位夾持旋轉軸分別位于左縱板的中心與右縱板的中心的連線的下方；動位夾持旋轉軸位于左縱板的中心與右縱板的中心的連線的上方；

定位夾持旋轉軸、動位夾持旋轉軸的徑向外周表面上均同軸設有若干環形槽，各定位夾持旋轉軸的環形槽的徑向外周表面、動位夾持旋轉軸的環形槽的徑向外周表面到左縱板的中心與右縱板的中心的連線的距離等于待清洗硅片的半徑；

左縱板、右縱板及各分隔縱板上方相同位置上設有一底面呈弧形的弧形通孔，各弧形通孔的底面到左縱板的中心與右縱板的中心的連線的距離相等；動位夾持旋轉軸穿過左縱板、右縱板及各分隔縱板的弧形通孔且可在所述弧形通孔內運動，當動位夾持旋轉軸在所述弧形通孔內運動時，可使動位夾持旋轉軸與其兩側的一定位夾持旋轉軸之間的距離大于待腐蝕硅片的直徑從而形成硅片出入口；

連接軸位于所述硅片出入口以外；連接軸的徑向外周表面與到左縱板的中心與右縱板的中心的連線的距離大于待清洗硅片的半徑；左縱板、右縱板上設有若干動位夾持旋轉軸鎖定桿插孔，動位夾持旋轉軸鎖定桿插孔上插有可將其上的弧形通孔分隔的動位夾持旋轉軸鎖定桿；

兩立板中，位于機架左側的立板的底端與左縱板相連，位于機架右側的立板的底端與右縱板相連；所述硅片旋轉驅動裝包括硅片旋轉驅動軸；

左縱板上同軸套裝有硅片旋轉驅動軸，硅片旋轉驅動軸的左縱板的左側同軸設有主齒輪，動位夾持旋轉軸、各定位夾持旋轉軸的位于左縱板的左側均同軸設有可與主齒輪相嚙合的副齒輪；位于機架左側的立板的底端設有與硅片旋轉驅動軸同軸設置且可與硅片旋轉驅動軸活動連接的傳動軸，傳動軸上設有傳動輪，清洗驅動電機的輸出輪設置在傳動輪的正上方，清洗驅動電機的輸出輪與傳動軸上的傳動輪相連；右縱板與架體相連；

或者，

右縱板上套裝有硅片旋轉驅動軸，硅片旋轉驅動軸的右縱板的右側同軸設有主齒輪，動位夾持旋轉軸、各定位夾持旋轉軸的位于右縱板的右側均同軸設有可與主齒輪相嚙合的副齒輪；位于機架右側的立板的底端設有與硅片旋轉驅動軸設置且可活動連接的傳動軸，傳動軸上設有傳動輪，清洗驅動電機的輸出輪設置在傳動輪的正上方，清洗驅動電機的輸出輪與傳動輪相連；左縱板與架體相連。