[實用新型]一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020792130.4 | 申請日： | 2020-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN212451632U | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 程言軍;蔣燕紅;蔣來紅 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽帝顯電子有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/46 | 分類號： | C23C16/46;C23C16/458;C23C16/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京和聯(lián)順知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11621 | 代理人： | 李照 |
| 地址： | 243000 安徽省馬鞍山市鄭*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 tft 玻璃 薄膜 沉積 裝置 | ||
本實用新型公開了一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，包括沉積源、沉積源噴嘴、連接構(gòu)件、圖案化縫隙片、基底、U型管、滑軌、驅(qū)動機(jī)構(gòu)和電動伸縮桿，所述沉積源和圖案化縫隙片之間通過框形的連接構(gòu)件相連接，所述沉積源與沉積源噴嘴相連接，所述沉積源噴嘴位于圖案化縫隙片的下方，所述連接構(gòu)件的兩側(cè)固定連接有滑軌，所述基底的上表面鋪設(shè)有多根平行排列的U型管。通過流體控溫系統(tǒng)向U型管中通入一定溫度的流體，實現(xiàn)對基底的控溫；能夠擴(kuò)大TFT玻璃薄膜的最終成型面積，適用大尺寸TFT玻璃薄膜的生產(chǎn)；且在移動過程中配合流體控溫系統(tǒng)使用，對移出圖案化縫隙片所在區(qū)域且初步成型的TFT玻璃薄膜，極速降溫，便于薄膜脫離基底和成型。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及薄膜沉積裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置。
背景技術(shù)
薄膜沉積設(shè)備可被簡單地用于大規(guī)模生產(chǎn)大尺寸的顯示裝置并提高生產(chǎn)良率。與其它顯示裝置相比，有機(jī)發(fā)光顯示裝置視角更大、對比度特性更好并且響應(yīng)速度更快，因此有機(jī)發(fā)光顯示裝置作為下一代顯示裝置而備受矚目。有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括設(shè)置在彼此相對布置的第一電極和第二電極之間的中間層，所述中間層包括發(fā)射層。中間層、第一電極和第二電極可以利用各種方法形成，例如，利用沉積方法。當(dāng)利用沉積方法來制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置時，為了形成具有期望圖案的薄膜，具有與待形成的薄膜的圖案相同的圖案的精細(xì)金屬掩模(FMM)被設(shè)置為緊密地接觸基底，并且在FMM上沉積薄膜材料。
專利號為CN201110029291.3提供一種薄膜沉積設(shè)備，所述薄膜沉積設(shè)備可被簡單應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)大尺寸顯示裝置并提高生產(chǎn)率。薄膜沉積設(shè)備包括：沉積源，排出沉積材料；沉積源噴嘴單元，設(shè)置在沉積源的一側(cè)并包括沿第一方向布置的多個沉積源噴嘴；圖案化縫隙片，被設(shè)置成與所述沉積源噴嘴單元相對，所述圖案化縫隙片包括沿與第一方向垂直的第二方向布置的多個圖案化縫隙。但是該薄膜沉積設(shè)備在生產(chǎn)薄膜的過程中基底無任何控溫裝置，當(dāng)基底受熱膨脹變形后成型的薄膜為畸形，尺寸精度差，并且依據(jù)基底面積生產(chǎn)薄膜，對薄膜尺寸具有較大的限制，最終成型的薄膜需要長時間的降溫，降溫后薄膜粘附在基底上，難以脫離。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，通過流體控溫系統(tǒng)向U型管中通入一定溫度的流體，實現(xiàn)對基底的控溫，避免基底受熱膨脹；能夠擴(kuò)大TFT玻璃薄膜的最終成型面積，適用大尺寸TFT玻璃薄膜的生產(chǎn)；且在移動過程中配合流體控溫系統(tǒng)使用，對移出圖案化縫隙片所在區(qū)域且初步成型的TFT玻璃薄膜，極速降溫，便于薄膜脫離基底和成型，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問題。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，包括沉積源、沉積源噴嘴、連接構(gòu)件、圖案化縫隙片、基底、U型管、滑軌、驅(qū)動機(jī)構(gòu)和電動伸縮桿，所述沉積源和圖案化縫隙片之間通過框形的連接構(gòu)件相連接，所述沉積源與沉積源噴嘴相連接，所述沉積源噴嘴位于圖案化縫隙片的下方，所述連接構(gòu)件的兩側(cè)固定連接有滑軌，兩個滑軌相互平行，且滑軌滑動連接有滑塊，所述滑塊共有四個，分別基底的下端四角處，所述基底的上表面鋪設(shè)有多根平行排列的U型管，所述基底和滑塊之間通過電動伸縮桿連接，且滑塊和滑軌之間通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)相連接。
優(yōu)選的，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動電機(jī)、齒輪、齒條和端板，滑塊與端板固定連接，端板的上表面安裝有驅(qū)動電機(jī)，驅(qū)動電機(jī)通過電機(jī)軸連接有齒輪，齒輪與齒條相互嚙合，齒條位于滑軌的外側(cè)壁上。
優(yōu)選的，所述U型管上套接有管箍，管箍通過螺栓固定連接有基底。
優(yōu)選的，所述U型管共有六根，每根U型管均通過水管連接有流體控溫系統(tǒng)。
優(yōu)選的，所述滑軌和滑塊的橫截面均為T形，且滑軌的兩端封閉。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果如下：
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于安徽帝顯電子有限公司，未經(jīng)安徽帝顯電子有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202020792130.4/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種用于矯正組件傾斜的粘接工具
- 下一篇：一種機(jī)械零件加工用清洗裝置
- 同類專利
- 專利分類
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的
