[實用新型]一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置

有效

• 申請號: 202020792130.4
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN212451632U
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 程言軍;蔣燕紅;蔣來紅
• 申請（專利權）人: 安徽帝顯電子有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/458;C23C16/04;H01L21/67
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 李照

1.一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，包括沉積源(1)、沉積源噴嘴(2)、連接構件(3)、圖案化縫隙片(4)、基底(5)、U型管(6)、滑軌(7)、驅動機構(8)和電動伸縮桿(9)，其特征在于：所述沉積源(1)和圖案化縫隙片(4)之間通過框形的連接構件(3)相連接，所述沉積源(1)與沉積源噴嘴(2)相連接，所述沉積源噴嘴(2)位于圖案化縫隙片(4)的下方，所述連接構件(3)的兩側固定連接有滑軌(7)，兩個滑軌(7)相互平行，且滑軌(7)滑動連接有滑塊(10)，所述滑塊(10)共有四個，分別基底(5)的下端四角處，所述基底(5)的上表面鋪設有多根平行排列的U型管(6)，所述基底(5)和滑塊(10)之間通過電動伸縮桿(9)連接，且滑塊(10)和滑軌(7)之間通過驅動機構(8)相連接。

2.根據權利要求1所述的一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，其特征在于：所述驅動機構(8)包括驅動電機(81)、齒輪(82)、齒條(83)和端板(84)，滑塊(10)與端板(84)固定連接，端板(84)的上表面安裝有驅動電機(81)，驅動電機(81)通過電機軸連接有齒輪(82)，齒輪(82)與齒條(83)相互嚙合，齒條(83)位于滑軌(7)的外側壁上。

3.根據權利要求1所述的一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，其特征在于：所述U型管(6)上套接有管箍(61)，管箍(61)通過螺栓固定連接有基底(5)。

4.根據權利要求1所述的一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，其特征在于：所述U型管(6)共有六根，每根U型管(6)均通過水管連接有流體控溫系統。

5.根據權利要求1所述的一種TFT玻璃薄膜層沉積裝置，其特征在于：所述滑軌(7)和滑塊(10)的橫截面均為T形，且滑軌(7)的兩端封閉。