[實用新型]一種液晶顯示屏生產用ITO膜蝕刻裝置

有效

• 申請號: 202020791995.9
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN211858606U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 程言軍;蔣燕紅;蔣來紅
• 申請（專利權）人: 安徽帝顯電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G02F1/1333
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 李照

1.一種液晶顯示屏生產用ITO膜蝕刻裝置，包括基座(1)和加工倉(2)，其特征在于：所述加工倉(2)安裝在基座(1)上，加工倉(2)的內側安裝有加工臺(3)和激光發射器(4)，加工臺(3)的邊緣處固定有齒條(6)，加工臺(3)的底面與基座(1)活動連接，激光發射器(4)安裝在加工倉(2)的側壁上，加工倉(2)的側壁上還安裝有調節組件(5)；

所述調節組件(5)的一端與齒條(6)接觸，調節組件(5)包括第一圓柱(51)、第二圓柱(52)、短軸(53)、封板(54)、轉盤(55)、把手(56)、第一齒輪(57)、第二齒輪(58)和旋鈕(59)，第一圓柱(51)的一端外壁處開設有齒槽，第一圓柱(51)通過此齒槽與齒條(6)活動連接，第一圓柱(51)與第二圓柱(52)的一端固定，第二圓柱(52)的另一端安裝有轉盤(55)，第二圓柱(52)貫穿加工倉(2)的側壁并與其活動連接，第二圓柱(52)與加工倉(2)側壁的連接處安裝有封板(54)，第二圓柱(52)的外壁安裝有第一齒輪(57)，第一齒輪(57)通過該輪齒嚙合的方式活動連接第二齒輪(58)，第二齒輪(58)的中心處安裝有短軸(53)，短軸(53)通過軸承與加工倉(2)的側壁活動連接，旋鈕(59)安裝在短軸(53)的一端。

2.根據權利要求1所述的一種液晶顯示屏生產用ITO膜蝕刻裝置，其特征在于：所述加工臺(3)的底面中心處安裝有導向滑塊(31)，加工臺(3)和導向滑塊(31)均與基座(1)活動連接，導向滑塊(31)的橫截面為等腰梯形。

3.根據權利要求1所述的一種液晶顯示屏生產用ITO膜蝕刻裝置，其特征在于：所述第一圓柱(51)與第二圓柱(52)同軸心。

4.根據權利要求1所述的一種液晶顯示屏生產用ITO膜蝕刻裝置，其特征在于：所述轉盤(55)的邊緣處安裝有布滿凹凸紋的把手(56)。

5.根據權利要求1所述的一種液晶顯示屏生產用ITO膜蝕刻裝置，其特征在于：所述第一齒輪(57)和第二齒輪(58)均位于加工倉(2)的側壁內腔中，第一齒輪(57)的直徑值大于第二齒輪(58)的直徑值。

6.根據權利要求1所述的一種液晶顯示屏生產用ITO膜蝕刻裝置，其特征在于：所述封板(54)共有兩塊，兩塊封板(54)均固定在第二圓柱(52)的外壁上。

7.根據權利要求1所述的一種液晶顯示屏生產用ITO膜蝕刻裝置，其特征在于：所述加工倉(2)的頂端安裝有負壓吸塵罩(7)。