[實用新型]一種液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020791995.9 | 申請日: | 2020-05-12 |
| 公開(公告)號: | CN211858606U | 公開(公告)日: | 2020-11-03 |
| 發(fā)明(設計)人: | 程言軍;蔣燕紅;蔣來紅 | 申請(專利權)人: | 安徽帝顯電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 北京和聯(lián)順知識產(chǎn)權代理有限公司 11621 | 代理人: | 李照 |
| 地址: | 243000 安徽省馬鞍山市鄭*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 液晶顯示屏 生產(chǎn) ito 蝕刻 裝置 | ||
本實用新型公開了一種液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置,包括基座和加工倉,加工倉安裝在基座上,加工倉的內(nèi)側安裝有加工臺和激光發(fā)射器,加工倉的側壁上還安裝有調(diào)節(jié)組件。本液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置,調(diào)節(jié)組件可以對加工臺進行調(diào)節(jié),使其移動加工臺到不同的區(qū)域,以滿足不同的加工效果,其中封板和負壓吸塵罩的設置,可以避免加工倉內(nèi)產(chǎn)生的煙霧溢出,安全性好,其中當需要調(diào)節(jié)加工臺位置時,可以通過轉動轉盤來帶動第二圓柱以進行初步的調(diào)節(jié),然后轉動旋鈕對加工臺位置進行的微調(diào),即通過初步調(diào)節(jié)和微調(diào)這樣能保證加工臺的位置調(diào)節(jié)精準,同時操作過程簡單方便。
技術領域
本實用新型涉及液晶顯示屏技術領域,具體為一種液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置。
背景技術
蝕刻機可以分為化學蝕刻機及電解蝕刻機兩類。在化學蝕刻中是使用化學溶液,經(jīng)由化學反應以達到蝕刻的目的,化學蝕刻機是將材料用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。
蝕刻機主要應用于航空、機械、標牌工業(yè)中,蝕刻機技術廣泛地被使用于減輕重量儀器鑲板,銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等之加工。在半導體和線路版制程上,蝕刻更是不可或缺的技術。蝕刻機如今廣泛應用于金卡標牌加工、手機按鍵加工、不銹鋼濾網(wǎng)加工、不銹鋼電梯裝飾板加工、金屬引線框加工、金屬眼鏡腳絲加工、線路板加工、裝飾性金屬板加工等工業(yè)用途。然而,ITO膜蝕刻技術作為蝕刻新技術,ITO膜蝕刻過程中還是會產(chǎn)生煙霧,影響加工環(huán)境,同時現(xiàn)有的ITO膜蝕刻裝置加工位調(diào)節(jié)不便。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置,具備安全性好同時調(diào)節(jié)方便的優(yōu)點,可以解決現(xiàn)有技術中的問題。
為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術方案:
一種液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置,包括基座和加工倉,所述加工倉安裝在基座上,加工倉的內(nèi)側安裝有加工臺和激光發(fā)射器,加工臺的邊緣處固定有齒條,加工臺的底面與基座活動連接,激光發(fā)射器安裝在加工倉的側壁上,加工倉的側壁上還安裝有調(diào)節(jié)組件;
所述調(diào)節(jié)組件的一端與齒條接觸,調(diào)節(jié)組件包括第一圓柱、第二圓柱、短軸、封板、轉盤、把手、第一齒輪、第二齒輪和旋鈕,第一圓柱的一端外壁處開設有齒槽,第一圓柱通過此齒槽與齒條活動連接,第一圓柱與第二圓柱的一端固定,第二圓柱的另一端安裝有轉盤,第二圓柱貫穿加工倉的側壁并與其活動連接,第二圓柱與加工倉側壁的連接處安裝有封板,第二圓柱的外壁安裝有第一齒輪,第一齒輪通過該輪齒嚙合的方式活動連接第二齒輪,第二齒輪的中心處安裝有短軸,短軸通過軸承與加工倉的側壁活動連接,旋鈕安裝在短軸的一端。
優(yōu)選的,所述加工臺的底面中心處安裝有導向滑塊,加工臺和導向滑塊均與基座活動連接,導向滑塊的橫截面為等腰梯形。
優(yōu)選的,所述第一圓柱與第二圓柱同軸心。
優(yōu)選的,所述轉盤的邊緣處安裝有布滿凹凸紋的把手。
優(yōu)選的,所述第一齒輪和第二齒輪均位于加工倉的側壁內(nèi)腔中,第一齒輪的直徑值大于第二齒輪的直徑值。
優(yōu)選的,所述封板共有兩塊,兩塊封板均固定在第二圓柱的外壁上。
優(yōu)選的,所述加工倉的頂端安裝有負壓吸塵罩。
與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果如下:
本液晶顯示屏生產(chǎn)用ITO膜蝕刻裝置,調(diào)節(jié)組件的一端與齒條接觸,調(diào)節(jié)組件可以對加工臺進行調(diào)節(jié),使其移動加工臺到不同的區(qū)域,以滿足不同的加工效果,其中封板和負壓吸塵罩的設置,可以避免加工倉內(nèi)產(chǎn)生的煙霧溢出,安全性好,其中當需要調(diào)節(jié)加工臺位置時,可以通過轉動轉盤來帶動第二圓柱以進行初步的調(diào)節(jié),然后轉動旋鈕對加工臺位置進行的微調(diào),即通過初步調(diào)節(jié)和微調(diào)這樣能保證加工臺的位置調(diào)節(jié)精準,同時操作過程簡單方便。
附圖說明
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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