[實用新型]高頻測定用探針以及高頻特性測定裝置

有效

• 申請號: 202020783387.3
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN212586433U
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 富桝勝仁;岡本文太;何志剛
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

本實用新型構成特性阻抗實質上不依賴于電路基板的被測定點的信號電極與接地電極的間隔的高頻測定用探針以及使用了該高頻測定用探針的高頻特性測定裝置。高頻測定用探針(101)具備：第1基板(10)，具有第1接地導體(12)和與該第1接地導體導通的接地探針(1)；第2基板(20)，具有傳輸線路和信號探針(3)，傳輸線路由信號導體和第2接地導體構成，信號探針與信號導體導通，并在與接地探針相同的方向上延伸；以及基板保持機構，保持第1基板和第2基板，使得能夠在使第1接地導體和第2接地導體電導通的狀態下對第1方向上的相對位置關系進行調整，第1方向是相對于接地探針以及信號探針的延伸方向的正交方向。

技術領域

本實用新型涉及用于作為被測定對象的高頻電路的特性的測定的高頻測定用探針以及具備該高頻測定用探針的高頻特性測定裝置。

背景技術

用于檢測電路基板上的被測定點的信號而測定形成在電路基板的高頻電路的特性的一般的方法如下，即，將從測定裝置引出的獨立的手持式的探針抵接于電路基板的被測定點，并通過測定裝置對高頻信號進行分析。但是，在使用該手持式的探針的方法中，在存在許多試驗部位的情況下，成為效率差、耗時的作業。

相對于此，在專利文獻1公開了如下的印刷布線電路基板試驗裝置，即，具備保持印刷布線電路基板的臺和能夠在該臺的上方在x、y以及z方向上移動的兩個試驗頭，并構成為能夠變更信號探針與接地探針的間隔。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2000-28673號公報

在專利文獻1記載的印刷布線電路基板試驗裝置中，信號探針與接地探針的間隔會由電路基板的被測定點的信號電極與接地電極的間隔來規定。因此，存在如下情況，即，信號探針與接地探針的間隔決定得不合適，探針的特性阻抗從規定值偏離。在該情況下，產生阻抗不匹配，不能進行正確的測定。

如果使信號探針和接地探針不能獨立地移動并預先設計好給定的特性阻抗的探針，則能夠避免上述特性阻抗的不匹配的問題。但是，在信號探針與接地探針的間隔根據電路基板的被測定點的部位而不同的情況、信號探針與接地探針的間隔根據被測定電路基板的每個種類而不同的情況下，需要準備多種與這些測定部位相應的專用的探針，費時費力，測定工序也復雜化。

實用新型內容

實用新型要解決的課題

因此，本實用新型的目的在于，提供特性阻抗實質上不依賴于電路基板的被測定點的信號電極與接地電極的間隔的高頻測定用探針以及使用了該高頻測定用探針的高頻特性測定裝置。

用于解決課題的技術方案

(1)作為本公開的一個例子的高頻測定用探針具備：

第1基板，具有第1接地導體和與該第1接地導體導通的接地探針；

第2基板，具有傳輸線路和信號探針，所述傳輸線路由信號導體和與所述第1接地導體電導通的第2接地導體構成，所述信號探針與所述信號導體導通，并在與所述接地探針相同的方向上延伸；以及

基板保持機構，保持所述第1基板和所述第2基板，使得能夠對第1方向上的相對位置關系進行調整，所述第1方向是相對于所述接地探針以及所述信號探針的延伸方向的正交方向。

(2)優選地，在上述(1)中，

所述信號探針具有在所述延伸方向上從所述第2接地導體突出的突出部。

(3)優選地，在上述(1)或(2)中，

所述第2接地導體滑動自由地配置在所述第1接地導體。

(4)優選地，在上述(1)至(3)中的任一項中，