[實用新型]高頻測定用探針以及高頻特性測定裝置

有效

• 申請號: 202020783387.3
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN212586433U
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 富桝勝仁;岡本文太;何志剛
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/28
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 樸云龍

1.一種高頻測定用探針，其特征在于，具備：

第1基板，具有第1接地導體和與該第1接地導體導通的接地探針；

第2基板，具有傳輸線路和信號探針，所述傳輸線路由信號導體和與所述第1接地導體電導通的第2接地導體構成，所述信號探針與所述信號導體導通，并在與所述接地探針相同的方向上延伸；以及

基板保持機構，保持所述第1基板和所述第2基板，使得能夠對第1方向上的相對位置關系進行調整，所述第1方向是相對于所述接地探針以及所述信號探針的延伸方向的正交方向。

2.根據權利要求1所述的高頻測定用探針，其特征在于，

所述信號探針具有在所述延伸方向上從所述第2接地導體突出的突出部。

3.根據權利要求1或2所述的高頻測定用探針，其特征在于，

所述第2接地導體滑動自由地配置在所述第1接地導體。

4.根據權利要求1或2所述的高頻測定用探針，其特征在于，

所述第2基板具有在第2方向上突出的凸部，所述第2方向是與所述延伸方向正交且與所述第1方向正交的方向，

所述第2接地導體具有第2接地導體構件，所述第2接地導體構件設置在所述凸部的外表面，

所述信號導體設置在所述凸部的內部。

5.根據權利要求1或2所述的高頻測定用探針，其特征在于，

所述第2接地導體具有第2接地導體構件，所述第2接地導體構件是從所述延伸方向觀察覆蓋所述信號導體以及信號探針的周圍的部分。

6.根據權利要求5所述的高頻測定用探針，其特征在于，

所述延伸方向上的第2接地導體構件的前端與所述信號探針的前端的距離小于所述第1方向上的第2接地導體構件與所述信號探針的距離。

7.一種高頻測定用探針，其特征在于，具備：

第1基板，在一方主面具有第1接地導體和與所述第1接地導體導通的接地探針；以及

第2基板，具有信號導體、傳輸線路、以及信號探針，所述傳輸線路由所述信號導體和第2接地導體構成，所述信號探針與所述信號導體導通，并在與所述接地探針相同的方向上延伸，

所述第2接地導體具有第2接地導體構件，所述第2接地導體構件用于至少與所述第1接地導體電導通，并固定在所述第2基板的另一方主面，

所述高頻測定用探針還具備：基板保持機構，將所述第1基板以及所述第2基板保持為所述第2基板的另一方主面相對于所述第1基板的一方主面對置，并保持為所述第2接地導體構件能夠在所述第1基板的一方主面上在第1方向上移動，所述第1方向是相對于所述接地探針以及所述信號探針的延伸方向的正交方向。

8.根據權利要求7所述的高頻測定用探針，其特征在于，

所述信號探針具有在所述延伸方向上從所述第2接地導體突出的突出部。

9.根據權利要求7或8所述的高頻測定用探針，其特征在于，

所述第2基板具有在第2方向上突出的凸部，所述第2方向是與所述延伸方向正交且與所述第1方向正交的方向，

所述第2接地導體構件設置在所述凸部的外表面，

所述信號導體設置在所述凸部的內部。

10.根據權利要求7或8所述的高頻測定用探針，其特征在于，

從所述延伸方向觀察，所述第2接地導體構件覆蓋所述信號導體以及所述信號探針的周圍。

11.根據權利要求10所述的高頻測定用探針，其特征在于，

所述延伸方向上的第2接地導體構件的前端與所述信號探針的前端的距離小于所述第1方向上的第2接地導體構件與所述信號探針的距離。