[實用新型]一種可實現光學元件面形高精度控制的鍍膜裝置有效
| 申請號： | 202020782677.6 | 申請日： | 2020-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN212051636U | 公開（公告）日： | 2020-12-01 |
| 發明（設計）人： | 沈清;李旭光 | 申請（專利權）人： | 無錫奧夫特光學技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/50 | 分類號： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 無錫派爾特知識產權代理事務所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 楊立秋 |
| 地址： | 214000 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 實現 光學 元件 高精度 控制 鍍膜 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種可實現光學元件面形高精度控制的鍍膜裝置，其特征在于，包括工件盤（1）、鍍膜夾具（2）和光學元件（3）；
所述工件盤（1）開有旋轉空腔（11），所述鍍膜夾具（2）放置于所述旋轉空腔（11）中，所述鍍膜夾具（2）與所述工件盤（1）轉動連接；
所述光學元件（3）放置于所述鍍膜夾具（2）中，并通過滑動卡扣機構（4）固定安裝。
2.如權利要求1所述的一種可實現光學元件面形高精度控制的鍍膜裝置，其特征在于，所述鍍膜夾具（2）兩側分別通過轉軸（5）轉動連接。
3.如權利要求2所述的一種可實現光學元件面形高精度控制的鍍膜裝置，其特征在于，所述轉軸（5）外部連接有電機，電機轉動，帶動所述轉軸（5）以及所述鍍膜夾具（2）轉動。
4.如權利要求2所述的一種可實現光學元件面形高精度控制的鍍膜裝置，其特征在于，所述鍍膜夾具（2）上開有若干個滑槽（21），所述滑槽（21）中均滑動連接有滑動擋塊（41）。
5.如權利要求4所述的一種可實現光學元件面形高精度控制的鍍膜裝置，其特征在于，所述滑動卡扣機構（4）共設有八組，四組位于所述鍍膜夾具（2）正面四邊；另外四組位于所述鍍膜夾具（2）背面四邊。
6.如權利要求4所述的一種可實現光學元件面形高精度控制的鍍膜裝置，其特征在于，所述滑動擋塊（41）上開有定位孔（42）。
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