[實用新型]一種用于特殊氣體混合配比的混氣輸送設備

有效

• 申請號: 202020781924.0
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN212298533U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 甘萬;楊欣;江福榮
• 申請（專利權）人: 上海盛韜半導體科技有限公司
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/12;F17D3/01;F17D5/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于特殊氣體混合配比的混氣輸送設備，包括：柜體、原料氣供應單元，混氣配比單元、混氣供應單元、控制顯示操作單元和報警單元，原料氣供應單元設于柜體內，混氣配比單元入口端與原料氣供應單元連接，混氣供應單元與混氣配比單元出口端連接，控制顯示操作單元和報警單元與柜體連接。本實用新型與傳統的管道直接傳導的設備相比，通過現代化的電控手段達到監控、報警的作用，同時避免人工操作，提高生產安全性。

技術領域

本實用新型涉及一種特殊氣體鋼瓶充裝領域，具體涉及一種用于特殊氣體混合配比的混氣輸送設備。

背景技術

由于全球電子、光伏產業的蓬勃發展，及我國政府大力提倡科技興國，國內半導體、光伏制造業發展迅猛。據2006年中國半導體產業研究報告指出：“2006年底，中國國內有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC裝配廠，450家IC設計公司。2006年中國國內半導體產業產值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測350億元，晶圓制造242億元，IC設計215億元。中國國內半導體市場的規模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上。”光伏產業在近兩年快速發展，是未來新能源產業的主力軍。

而在半導體、光伏相關產業常用的制程中需要使用許多特殊氣體，其中對于一些混氣的配比濃度要求較高，所以需要一臺濃度精度較高的設備。且一些有毒、腐蝕、可燃的氣體危害性相當高，一旦這些氣體供應系統發生閥件適當損壞(如受腐蝕或人為操作失誤等因素)造成氣體泄漏，將威脅到人員生命安全、設備損失及生產中斷，其危害性是讓我們特別重視且不可小看的。在半導體產業發展的初期曾發生不少的事故。

為了解決上述問題，我們做出了一系列改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種用于特殊氣體混合配比的混氣輸送設備，以克服現有技術所存在的上述缺點和不足。

一種用于特殊氣體混合配比的混氣輸送設備，包括：柜體、原料氣供應單元，混氣配比單元、混氣供應單元、控制顯示操作單元和報警單元，所述原料氣供應單元設于柜體內，所述混氣配比單元入口端與原料氣供應單元連接，所述混氣供應單元與混氣配比單元出口端連接，所述控制顯示操作單元和報警單元與柜體連接；

其中，所述原料氣供應單元，包括：入口隔離閥、調壓閥、單向閥、壓力表、氣動隔離閥、吹掃氣動隔離閥、過濾器、吹掃氣入口隔離閥、氣動微漏閥和入氣管道，所述入口隔離閥包括：第一入口隔離閥和第二入口隔離閥，所述調壓閥包括：第一調壓閥和第二調壓閥，所述壓力表包括：第一壓力表和第二壓力表，所述氣動隔離閥包括：第一氣動隔離閥和第二氣動隔離閥，所述吹掃氣動隔離閥包括：第一吹掃氣動隔離閥和第二吹掃氣動隔離閥，所述過濾器包括：第一過濾器和第二過濾器，所述單向閥包括：第一單向閥、第二單向閥和第三單向閥，所述入氣管道包括：1％PH₃/H₂入氣管道和H₂入氣管道，所述1％PH₃/H₂入氣管道通過第一入口隔離閥與第一調壓閥連接，所述H₂入氣管道通過第二入口隔離閥與第二調壓閥連接，所述第一調壓閥通過第一單向閥與第一壓力表連接，所述第二調壓閥與第二壓力表連接，所述第一壓力表與第一氣動隔離閥連接，所述第二壓力表與第二氣動隔離閥連接，所述第一壓力表與第一吹掃氣動隔離閥和第一過濾器連接，所述第二壓力表與第二吹掃氣動隔離閥和第二過濾器連接，所述第一過濾器和第二過濾器與混氣配比單元連接，所述第一吹掃氣動隔離閥通過第二單向閥與氣動微漏閥連接，所述第二吹掃氣動隔離閥通過第三單向閥與氣動微漏閥連接，所述氣動微漏閥與供應單元壓力傳感器連接，所述氣動微漏閥與吹掃氣入口隔離閥連接，所述氣動微漏閥、吹掃氣動隔離閥、氣動隔離閥和供應單元壓力傳感器受控于微處理器；