[實用新型]一種用于特殊氣體混合配比的混氣輸送設備

有效

• 申請號: 202020781924.0
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN212298533U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 甘萬;楊欣;江福榮
• 申請（專利權）人: 上海盛韜半導體科技有限公司
• 主分類號: F17C5/06
• 分類號: F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/12;F17D3/01;F17D5/02
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1.一種用于特殊氣體混合配比的混氣輸送設備，其特征在于，包括：柜體(100)、原料氣供應單元(200)，混氣配比單元(300)、混氣供應單元(400)、控制顯示操作單元(500)和報警單元(600)，所述原料氣供應單元(200)設于柜體(100)內，所述混氣配比單元(300)入口端與原料氣供應單元(200)連接，所述混氣供應單元(400)與混氣配比單元(300)出口端連接，所述控制顯示操作單元(500)和報警單元(600)與柜體(100)連接；

其中，所述原料氣供應單元(200)，包括：入口隔離閥(210)、調壓閥(220)、單向閥(230)、壓力表(240)、氣動隔離閥(250)、吹掃氣動隔離閥(260)、過濾器(270)、吹掃氣入口隔離閥(280)、氣動微漏閥(290)和入氣管道(2100)，所述入口隔離閥(210)包括：第一入口隔離閥(211)和第二入口隔離閥(212)，所述調壓閥(220)包括：第一調壓閥(221)和第二調壓閥(222)，所述壓力表(240)包括：第一壓力表(241)和第二壓力表(242)，所述氣動隔離閥(250)包括：第一氣動隔離閥(251)和第二氣動隔離閥(252)，所述吹掃氣動隔離閥(260)包括：第一吹掃氣動隔離閥(261)和第二吹掃氣動隔離閥(262)，所述過濾器(270)包括：第一過濾器(271)和第二過濾器(272)，所述單向閥(230)包括：第一單向閥(231)、第二單向閥(232)和第三單向閥(233)，所述入氣管道(2100)包括：1％PH₃/H₂入氣管道(2101)和H₂入氣管道(2102)，所述1％PH₃/H₂入氣管道(2101)通過第一入口隔離閥(211)與第一調壓閥(221)連接，所述H₂入氣管道(2102)通過第二入口隔離閥(212)與第二調壓閥(222)連接，所述第一調壓閥(221)通過第一單向閥(231)與第一壓力表(241)連接，所述第二調壓閥(222)與第二壓力表(242)連接，所述第一壓力表(241)與第一氣動隔離閥(251)連接，所述第二壓力表(242)與第二氣動隔離閥(252)連接，所述第一壓力表(241)與第一吹掃氣動隔離閥(261)和第一過濾器(271)連接，所述第二壓力表(242)與第二吹掃氣動隔離閥(262)和第二過濾器(272)連接，所述第一過濾器(271)和第二過濾器(272)與混氣配比單元(300)連接，所述第一吹掃氣動隔離閥(261)通過第二單向閥(232)與氣動微漏閥(290)連接，所述第二吹掃氣動隔離閥(262)通過第三單向閥(233)與氣動微漏閥(290)連接，所述氣動微漏閥(290)與供應單元壓力傳感器(800)連接，所述氣動微漏閥(290)與吹掃氣入口隔離閥(280)連接，所述氣動微漏閥(290)、吹掃氣動隔離閥(260)、氣動隔離閥(250)和供應單元壓力傳感器(800)受控于微處理器(510)；

所述混氣配比單元(300)包括：混氣入口隔離閥(310)、混氣壓力傳感器(320)、濃度分析儀(330)、混氣配比氣動隔離閥(340)、質量流量控制器(350)、混氣配比器(360)、混氣配比調壓閥(370)、混氣出口隔離閥(380)和抽真空隔離閥(390)，所述混氣入口隔離閥(310)包括：第一混氣入口隔離閥(311)和第二混氣入口隔離閥(312)，所述混氣壓力傳感器(320)包括：第一混氣壓力傳感器(321)和第二混氣壓力傳感器(322)，所述混氣配比氣動隔離閥(340)包括：第一混氣配比氣動隔離閥(341)、第二混氣配比氣動隔離閥(342)、第三混氣配比氣動隔離閥(343)和第四混氣配比氣動隔離閥(344)，所述質量流量控制器(350)包括：第一質量流量控制器(351)和第二質量流量控制器(352)，所述第一混氣入口隔離閥(311)連接第一過濾器(271)和第一混氣壓力傳感器(321)，所述第二混氣入口隔離閥(312)連接第二過濾器(272)和第二混氣壓力傳感器(322)，所述濃度分析儀(330)設于第一混氣入口隔離閥(311)和第一混氣壓力傳感器(321)之間，所述第一混氣壓力傳感器(321)與第一混氣配比氣動隔離閥(341)連接，所述第二混氣壓力傳感器(322)與第二混氣配比氣動隔離閥(342)連接，所述第一混氣配比氣動隔離閥(341)與第一質量流量控制器(351)連接，所述第二混氣配比氣動隔離閥(342)與第二質量流量控制器(352)連接，所述第一質量流量控制器(351)與第三混氣配比氣動隔離閥(343)連接，所述第二質量流量控制器(352)與第四混氣配比氣動隔離閥(344)連接，所述第三混氣配比氣動隔離閥(343)和第四混氣配比氣動隔離閥(344)連接混氣配比器(360)和混氣配比調壓閥(370)，所述混氣配比調壓閥(370)與混氣出口隔離閥(380)和抽真空隔離閥(390)連接，所述混氣出口隔離閥(380)與混氣供應單元(400)連接，所述濃度分析儀(330)、混氣配比氣動隔離閥(340)、混氣壓力傳感器(320)、混氣配比器(360)受控于微處理器(510)；

所述混氣供應單元(400)包括：入口氣動隔離閥(410)、原料氣入口隔離閥(420)、混氣供應單元出口隔離閥(430)、備用口隔離閥(440)、混氣供應單元壓力傳感器(450)、真空隔離閥(460)、泵隔離閥(470)、真空管路隔離閥(480)、背壓閥(490)、直通隔離閥(4100)、真空氣動隔離閥(4200)和真空發生器(4300)，所述入口氣動隔離閥(410)一端與混氣出口隔離閥(380)連接，所述入口氣動隔離閥(410)另一端與混氣供應單元壓力傳感器(450)連接，所述混氣供應單元壓力傳感器(450)與原料氣入口隔離閥(420)、混氣供應單元出口隔離閥(430)、備用口隔離閥(440)和真空隔離閥(460)連接，所述真空隔離閥(460)與泵隔離閥(470)和真空管路隔離閥(480)連接，所述真空管路隔離閥(480)與真空氣動隔離閥(4200)、直通隔離閥(4100)和背壓閥(490)連接，所述直通隔離閥(4100)和背壓閥(490)與抽真空隔離閥(390)連接，所述真空氣動隔離閥(4200)與真空發生器(4300)連接。