[實用新型]在線式石墨舟裝卸片機有效
| 申請號: | 202020781306.6 | 申請日: | 2020-05-12 |
| 公開(公告)號: | CN211788948U | 公開(公告)日: | 2020-10-27 |
| 發明(設計)人: | 寧佐強;何鵬;莫計亨 | 申請(專利權)人: | 無錫尚品高自動化設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海思牛達專利代理事務所(特殊普通合伙) 31355 | 代理人: | 丁劍 |
| 地址: | 214000 江蘇省無*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 在線 石墨 裝卸 | ||
本實用新型公開了在線式石墨舟裝卸片機,包括機架、石墨舟傳送機構、石墨舟橫移機構、石墨舟定位機構、插片機構、硅片定位緩存機構、硅片輸送機構、硅片緩存機構、夾片機構、伸縮機構、升降機構a、花籃輸送機構和花籃切換機構。本實用新型中,該在線式石墨舟裝卸片機可以提升整體速度,提高對硅片生產精準度,降低硅片的碎片率,節省人力、提高經濟效益。
技術領域
本實用新型涉及太陽能硅片生產領域技術領域,更具體地說,特別涉及在線式石墨舟裝卸片機。
背景技術
在當前生產條件下,需人工把硅片進行裝入、卸出石墨舟,還得人工搬運石墨舟進入、取出主設備。人工所耗的時間長,效率低下,碎片率高,搬運時耗力等影響生產效率和質量的問題。
為此,我們提出在線式石墨舟裝卸片機來解決上述問題。
實用新型內容
本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的問題,而提出的在線式石墨舟裝卸片機。
為了實現上述目的,本實用新型采用了如下技術方案:
在線式石墨舟裝卸片機,包括機架、石墨舟傳送機構、石墨舟橫移機構、石墨舟定位機構、插片機構、硅片定位緩存機構、硅片輸送機構、硅片緩存機構、夾片機構、伸縮機構、升降機構a、花籃輸送機構和花籃切換機構;
所述石墨舟傳送機構包括減速器a、步進電機a、導向條a、同步帶機構a和從動輪機構a;
所述石墨舟橫移機構包括滑軌機構a、同步帶機構b、伺服電機a 和減速器b;
所述石墨舟定位機構包括前定位機構、后定位機構、左定位機構、右定位機構和滑軌機構b;
所述插片機構包括機器人和設置在機器人上的插片吸盤組件;
所述硅片定位緩存機構包括多槽板a、整體夾片機構、升降模組 a和滑塊導軌機構a;
所述硅片輸送機構包括彈性皮帶輸送結構、支撐結構、伺服電機 b和同步帶機構c;
所述硅片緩存機構包括升降機構b、多槽板b和連接機構;
所述夾片機構包括滾輪組結構、滑塊導軌機構b、步進電機b和同步帶機構d;
所述伸縮機構包括伺服電機c、同步帶機構e、彈性皮帶機構、伸縮舌頭、氣缸帶動機構、導軌滑塊機構和支架機構;
所述升降機構a包括升降模組b、花籃底部定位機構、同步帶機構f、步進電機c、花籃防傾倒機構、從動輪機構b和防呆機構;
所述花籃輸送機構包括減速器c、步進電機d、導向條b、同步帶機構g和從動輪機構c;
所述花籃切換機構包括橫移模組、同步帶機構h、步進電機e和從動輪機構d。
優選地,所述石墨舟定位機構等分成了A、B兩側。
優選地,所述石墨舟定位機構的A側用于把經主設備處理完的硅片從石墨舟移入花籃。
優選地,所述石墨舟定位機構的B側用于把未處理過的硅片從花籃移入石墨舟并去主設備處理。
本實用新型的實施例提供的技術方案可以包括以下有益效果:
本實用新型中,該在線式石墨舟裝卸片機可以提升整體速度,提高對硅片生產精準度,降低硅片的碎片率,節省人力、提高經濟效益。
附圖說明
圖1為本實用新型提出的在線式石墨舟裝卸片機的結構示意圖。
圖2為本實用新型提出的在線式石墨舟裝卸片機的結構示意圖。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





