[實用新型]在線式石墨舟裝卸片機

有效

• 申請號: 202020781306.6
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN211788948U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 寧佐強;何鵬;莫計亨
• 申請（專利權）人: 無錫尚品高自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 上海思牛達專利代理事務所(特殊普通合伙) 31355
• 代理人: 丁劍

1.在線式石墨舟裝卸片機，其特征在于，包括機架(1)、石墨舟傳送機構(2)、石墨舟橫移機構(3)、石墨舟定位機構(4)、插片機構(5)、硅片定位緩存機構(6)、硅片輸送機構(7)、硅片緩存機構(8)、夾片機構(9)、伸縮機構(10)、升降機構a(11)、花籃輸送機構(12)和花籃切換機構(13)；

所述石墨舟傳送機構(2)包括減速器a(14)、步進電機a(15)、導向條a(16)、同步帶機構a(17)和從動輪機構a(18)；

所述石墨舟橫移機構(3)包括滑軌機構a(19)、同步帶機構b(20)、伺服電機a(21)和減速器b(22)；

所述石墨舟定位機構(4)包括前定位機構(23)、后定位機構(24)、左定位機構(25)、右定位機構(26)和滑軌機構b(27)；

所述插片機構(5)包括機器人(28)和設置在機器人(28)上的插片吸盤組件(29)；

所述硅片定位緩存機構(6)包括多槽板a(30)、整體夾片機構(31)、升降模組a(32)和滑塊導軌機構a(33)；

所述硅片輸送機構(7)包括彈性皮帶輸送結構(34)、支撐結構(35)、伺服電機b(36)和同步帶機構c(37)；

所述硅片緩存機構(8)包括升降機構b(38)、多槽板b(39)和連接機構(40)；

所述夾片機構(9)包括滾輪組結構(41)、滑塊導軌機構b(42)、步進電機b(43)和同步帶機構d(44)；

所述伸縮機構(10)包括伺服電機c(45)、同步帶機構e(46)、彈性皮帶機構(47)、伸縮舌頭(48)、氣缸帶動機構(49)、導軌滑塊機構(50)和支架機構(51)；

所述升降機構a(11)包括升降模組(52)b、花籃底部定位機構(53)、同步帶機構f(54)、步進電機c(55)、花籃防傾倒機構(56)、從動輪機構b(57)和防呆機構(58)；

所述花籃輸送機構(12)包括減速器c(59)、步進電機d(60)、導向條b(61)、同步帶機構g(62)和從動輪機構c(63)；

所述花籃切換機構(13)包括橫移模組(64)、同步帶機構h(65)、步進電機e(66)和從動輪機構d(67)。

2.根據權利要求1所述的在線式石墨舟裝卸片機，其特征在于，所述石墨舟定位機構(4)等分成了A、B兩側。

3.根據權利要求2所述的在線式石墨舟裝卸片機，其特征在于，所述石墨舟定位機構(4)的A側用于把經主設備處理完的硅片從石墨舟移入花籃。

4.根據權利要求2所述的在線式石墨舟裝卸片機，其特征在于，所述石墨舟定位機構(4)的B側用于把未處理過的硅片從花籃移入石墨舟并去主設備處理。