[實(shí)用新型]用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020774326.0
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN211719571U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡齊航;謝亞珍;余維松
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇試宜特（上海）檢測技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/66;G01N23/02;G01N23/2005;G01N23/2202
• 代理公司: 上海唯源專利代理有限公司 31229
• 代理人: 宋小光

本實(shí)用新型涉及一種用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置，包括：相對設(shè)置且供夾住平面樣品的第一固定板和第二固定板，且該第一固定板和第二固定板可拆卸地連接，該第一固定板的一側(cè)間隔開設(shè)有若干條形孔；對第一固定板進(jìn)行噴金，以透過條形孔于平面樣品的表面形成定位標(biāo)記線。本實(shí)用新型有效地解決了缺陷定位困難的問題，能夠提升缺陷的定位精度，大大減少誤認(rèn)或盲切的狀況發(fā)生，保證后續(xù)的檢測精度，且本裝置結(jié)構(gòu)簡單，便于實(shí)現(xiàn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片檢測領(lǐng)域，特指一種用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置。

背景技術(shù)

集成電路芯片持續(xù)往輕、薄、小、極高密度發(fā)展時，對于芯片缺陷的容忍度也相對降低，集成電路器件密集度提高，芯片的面積也對應(yīng)縮小，在制造時可能會產(chǎn)生缺陷，而缺陷往往是造成芯片失效的主要原因。

由于掃描式電子顯微鏡(SEM)分辨率較低，目前更多使用投射電子顯微鏡(TEM)觀察芯片中的缺陷結(jié)構(gòu)，而TEM樣品需要經(jīng)過雙束離子束(DB-FIB)制備后才能進(jìn)行分析。

實(shí)際TEM樣品制作過程中，芯片需要先在掃描電鏡下定位缺陷的位置，但由于芯片上納米級缺陷在掃描電鏡下完全無法識別，難以精確地找出缺陷所在的位置，另外芯片存在多個重復(fù)的單元結(jié)構(gòu)，即使是通過芯片的相對單元結(jié)構(gòu)尋找缺陷的對應(yīng)位置也十分困難，容易造成誤認(rèn)或盲切，對后續(xù)檢測產(chǎn)生影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置，解決了缺陷定位困難的問題，能夠提升缺陷的定位精度，大大減少誤認(rèn)或盲切的狀況發(fā)生，保證后續(xù)的檢測精度，且本裝置結(jié)構(gòu)簡單，便于實(shí)現(xiàn)。

實(shí)現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案是：

本實(shí)用新型提供了一種用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置，包括：

相對設(shè)置且供夾住平面樣品的第一固定板和第二固定板，且該第一固定板和第二固定板可拆卸地連接，該第一固定板的一側(cè)間隔開設(shè)有若干條形孔；

對第一固定板進(jìn)行噴金，以透過條形孔于平面樣品的表面形成定位標(biāo)記線。

本實(shí)用新型采用用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置，通過將平面樣品夾設(shè)于第一固定板和第二固定板之間，進(jìn)而利用噴金機(jī)對第一固定板的表面噴金，金粉通過條形孔沉積于平面樣品表面，從而于平面樣品的表面形成與條形孔相對應(yīng)的定位標(biāo)記線，根據(jù)定位標(biāo)記線可精確地找到缺陷所在的位置，大大提高了定位精度，解決了缺陷定位困難的問題，能夠提升缺陷的定位精度，大大減少誤認(rèn)或盲切的狀況發(fā)生，保證后續(xù)的檢測精度，且本裝置結(jié)構(gòu)簡單，便于實(shí)現(xiàn)。

本實(shí)用新型用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置的進(jìn)一步改進(jìn)在于，該第一固定板遠(yuǎn)離條形孔的一側(cè)開設(shè)有第一通孔；

該第二固定板對應(yīng)第一通孔開設(shè)有第二通孔，通過定位螺栓對應(yīng)穿過第一通孔和第二通孔，以固定連接第一固定板和第二固定板。

本實(shí)用新型用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置的進(jìn)一步改進(jìn)在于，相鄰的兩條條形孔的長度不同。

本實(shí)用新型用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置的進(jìn)一步改進(jìn)在于，該條形孔間隔設(shè)置有六條。

本實(shí)用新型用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置的進(jìn)一步改進(jìn)在于，該六條條形孔的長度依次為10mm、15mm、20mm、10mm、15mm、20mm。

本實(shí)用新型用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置的進(jìn)一步改進(jìn)在于，若干條形孔的寬度均為3mm。

本實(shí)用新型用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置的進(jìn)一步改進(jìn)在于，若干條形孔相互平行。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型用于平面樣品上形成定位標(biāo)記的輔助裝置中第一固定板的結(jié)構(gòu)示意圖。