[實用新型]冷卻組件和離子刻蝕機

有效

• 申請號: 202020773064.6
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN211719558U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 詹超;王明才;江玉奇;李慶躍;駱紅莉;郭雄偉;黃文俊;林土全
• 申請（專利權）人: 東晶電子金華有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰;王淑梅

本實用新型提供了一種冷卻組件和離子刻蝕機，所述冷卻組件用于離子刻蝕機，所述離子刻蝕機包括離子槍，所述冷卻組件包括至少一個水冷座、散熱部件、驅動部件和水箱；至少一個水冷座用于放置所述離子槍；所述散熱部件的一端與所述至少一個水冷座相連接；所述驅動部件與所述散熱部件相連接；所述水箱包括第一進水口和第一出水口，所述第一進水口與所述至少一個水冷座相連接，所述第一出水口與所述驅動部件相連接。本實用新型所提供的冷卻組件，水冷座可降低離子槍的溫度，減小對加速柵極與簾柵極之間的電壓的影響，并且可減慢離子刻蝕機上電器元件的老化速度，延長電器元件的壽命。

技術領域

本實用新型涉及離子刻蝕機技術領域，具體而言，涉及一種冷卻組件和離子刻蝕機。

背景技術

目前，在相關技術中，半自動離子刻蝕機的離子槍工作時，腔內的溫度也會不斷升高，腔內溫度過高，不僅會影響加速柵極與簾柵極之間的電壓，而且會加速腔內各元器件的老化。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術或相關技術中存在的技術問題之一。

為此，本實用新型的第一方面提出一種冷卻組件。

本實用新型的第二方面提出一種離子刻蝕機。

有鑒于此，本實用新型第一方面提供了一種冷卻組件，所述冷卻組件用于離子刻蝕機，所述離子刻蝕機包括離子槍，所述冷卻組件包括至少一個水冷座、散熱部件、驅動部件和水箱；至少一個水冷座用于放置所述離子槍；所述散熱部件的一端與所述至少一個水冷座相連接；所述驅動部件與所述散熱部件相連接；所述水箱包括第一進水口和第一出水口，所述第一進水口與所述至少一個水冷座相連接，所述第一出水口與所述驅動部件相連接。

本實用新型所提供的冷卻組件，在離子槍工作時，放置在水冷座上，驅動部件將冷卻水由水箱中抽出，送入散熱部件中，冷卻水經過散熱部件后進入的水冷座內，以冷卻放置在水冷座上的離子槍，然后冷卻水回流至水箱內；水冷座可降低離子槍的溫度，減小對加速柵極與簾柵極之間的電壓的影響，并且可減慢離子刻蝕機上電器元件的老化速度，延長電器元件的壽命。并且，冷卻水由水箱出流出后，經過散熱部件和水冷座后再回到水箱內，實現內循環，使得冷卻水反復使用，減少水資源的浪費。

冷卻水在進入到水冷座后，溫度升高，高溫冷卻水先進入到水箱中進行冷卻，再被驅動部件抽入到散熱部件中進行散熱，以再次進入到水冷座內，冷卻放置在水冷座上的離子槍。

另外，本實用新型提供的上述技術方案中的冷卻組件還可以具有如下附加技術特征：

在本實用新型的一個技術方案中，冷卻組件還包括流量開關，流量開關的一端與所述至少一個水冷座相連接，另一端與所述第一進水口相連接。

在該技術方案中，流量計可檢測管路內的流量，并且可根據流量控制驅動部件的功率，以實現對流量的控制。

當管路中的水流量大于1L/min(升/分鐘)流量時，流量開關的磁心在水流作用下產生位移，并帶動磁源產生磁控作用，使流量開關輸出“1”開關信號，該信號輸入到離子刻蝕機的控制組件，經功率放大后，實現對水流量控制的目的。當管路中的水流量小于1L/min流量后，磁芯在復位彈簧推力作用下，帶動磁源回原位，使流量開關輸出“0”開關信號，停止離子刻蝕機工作。

尤其在冷卻組件的水路堵塞時，流量計可及時控制離子刻蝕機停止工作，以減慢離子刻蝕機上電器元件的老化速度，延長電器元件的壽命。

在本實用新型的一個技術方案中，冷卻組件還包括第一換熱管，所述第一換熱管穿設于所述散熱部件上，所述第一換熱管的一端為進水端，另一端為出水端。

在該技術方案中，第一換熱管的兩端均與外部水源相連接，并且可與散熱部件換熱，通過外部水源對散熱部件進行冷卻，提升散熱部件的散熱效率。