[實(shí)用新型]冷卻組件和離子刻蝕機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020773064.6
• 申請(qǐng)日: 2020-05-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211719558U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹超;王明才;江玉奇;李慶躍;駱紅莉;郭雄偉;黃文俊;林土全
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東晶電子金華有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰;王淑梅

1.一種冷卻組件，其特征在于，所述冷卻組件用于離子刻蝕機(jī)，所述離子刻蝕機(jī)包括離子槍，所述冷卻組件包括：

至少一個(gè)水冷座，所述至少一個(gè)水冷座用于放置所述離子槍；

散熱部件，所述散熱部件的一端與所述至少一個(gè)水冷座相連接；

驅(qū)動(dòng)部件，所述驅(qū)動(dòng)部件與所述散熱部件相連接；

水箱，所述水箱包括第一進(jìn)水口和第一出水口，所述第一進(jìn)水口與所述至少一個(gè)水冷座相連接，所述第一出水口與所述驅(qū)動(dòng)部件相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻組件，其特征在于，還包括：

流量開(kāi)關(guān)，流量開(kāi)關(guān)的一端與所述至少一個(gè)水冷座相連接，另一端與所述第一進(jìn)水口相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻組件，其特征在于，還包括：

第一換熱管，所述第一換熱管穿設(shè)于所述散熱部件上，所述第一換熱管的一端為進(jìn)水端，另一端為出水端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的冷卻組件，其特征在于，所述散熱部件包括：

第二換熱管，所述第二換熱管的一端與所述至少一個(gè)水冷座相連接，另一端與所述驅(qū)動(dòng)部件相連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻組件，其特征在于，所述至少一個(gè)水冷座包括：

本體，所述本體設(shè)置有腔體；

安裝孔，所述安裝孔設(shè)置于所述本體上，用于放置所述離子槍。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的冷卻組件，其特征在于，所述至少一個(gè)水冷座還包括：

第二進(jìn)水口，所述第二進(jìn)水口設(shè)置于所述本體上，與所述散熱部件相連接；

第二出水口，所述第二出水口設(shè)置于所述本體上，與所述水箱相連接，

所述第二進(jìn)水口位于所述第二出水口的下方。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的冷卻組件，其特征在于，

所述腔體環(huán)繞所述安裝孔設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的冷卻組件，其特征在于，

所述至少一個(gè)水冷座的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)水冷座串聯(lián)或并聯(lián)設(shè)置；或

所述至少一個(gè)水冷座的數(shù)量為一個(gè)，所述安裝孔的數(shù)量為多個(gè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的冷卻組件，其特征在于，

所述驅(qū)動(dòng)部件為水泵。

10.一種離子刻蝕機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的冷卻組件。