[實(shí)用新型]半導(dǎo)體測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020726748.0
• 申請日: 2020-05-06
• 公開（公告）號: CN212301756U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何歡歡;王波;朱凱;祝曉釗;馮敏強(qiáng);廖良生
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇集萃有機(jī)光電技術(shù)研究所有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235
• 代理人: 毛方方

1.一種半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于，包括：

底座；

多個限位塊，分別設(shè)置于所述底座上以固定待測元件；

探針機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述底座上以電性連接待測元件；

移動機(jī)構(gòu)，分別設(shè)置于所述限位塊和所述底座、所述探針機(jī)構(gòu)和所述底座之間，以使所述限位塊和所述探針機(jī)構(gòu)根據(jù)待測元件的尺寸能夠沿底座進(jìn)行適應(yīng)性地移動調(diào)整。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：所述底座上設(shè)有沿所述探針機(jī)構(gòu)移動方向延伸設(shè)置的導(dǎo)電區(qū)域，所述探針機(jī)構(gòu)在滑動過程中始終電性連接所述導(dǎo)電區(qū)域。

3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：移動機(jī)構(gòu)具有設(shè)置于底座上與所述探針機(jī)構(gòu)相配合的探針滑軌，所述探針滑軌包括平行設(shè)置的第一探針滑軌和第二探針滑軌，所述導(dǎo)電區(qū)域設(shè)置于所述第一探針滑軌和所述第二探針滑軌之間。

4.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：所述探針機(jī)構(gòu)具有與所述導(dǎo)電區(qū)域電性連接的探針，所述探針的下端具有可沿所述導(dǎo)電區(qū)域滑動的滾珠或滾輪。

5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：移動機(jī)構(gòu)具有設(shè)置于底座上以與所述探針機(jī)構(gòu)相配合的探針滑軌、與所述限位塊相配合的限位滑軌，所述探針滑軌和所述限位滑軌分別具有沿其各自延伸方向均勻設(shè)置的刻度。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：所述探針滑軌位于相鄰的兩個限位滑軌之間，所述底座呈矩形設(shè)置，所述探針滑軌沿底座的對角線延伸設(shè)置，所述限位滑軌分別沿底座相對側(cè)的中心連線的方向延伸。

7.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：所述限位塊和所述限位滑軌、所述探針機(jī)構(gòu)和所述探針滑軌之間分別設(shè)有相互固定的固定機(jī)構(gòu)。

8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：所述固定機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于所述探針滑軌和所述限位滑軌上的多個卡勾，所述限位塊和所述探針機(jī)構(gòu)分別設(shè)有可與所述卡勾相固定和解除固定的卡槽。

9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：所述限位塊具有用以承載待測元件的承載部、自所述承載面遠(yuǎn)離待測元件的一側(cè)向上突伸的限位部。

10.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體測試裝置，其特征在于：所述測試裝置還包括蓋合所述底座的上蓋，所述上蓋具有自其下表面向下突伸的突出部、自所述突出部凹陷設(shè)置的上檢測區(qū)域、設(shè)置于所述上檢測區(qū)域內(nèi)的光電傳感器。