[實用新型]半導體測試裝置

有效

• 申請號: 202020726748.0
• 申請日: 2020-05-06
• 公開（公告）號: CN212301756U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 何歡歡;王波;朱凱;祝曉釗;馮敏強;廖良生
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 毛方方

本實用新型提供了一種半導體測試裝置，包括：底座；多個限位塊，分別設置于所述底座上以固定待測元件；探針機構，設置于所述底座上以電性連接待測元件；移動機構，分別設置于所述限位塊和所述底座、所述探針機構和所述底座之間，以使所述限位塊和所述探針機構根據待測元件的尺寸能夠沿底座進行適應性地移動調整。本實用新型半導體測試裝置可實現各種尺寸待測元件的測試。

技術領域

本實用新型涉及一種半導體測試裝置，尤其涉及一種適用范圍更廣的半導體測試裝置。

背景技術

在目前使用半導體壽命測試儀中，基本根據實際檢測的半導體的尺寸需求來制作對應尺寸的測試裝置，如果需要測試其他型號的半導體，需要重新進行制作測試裝置，一方面測試成本增加，另一方面也會極大地降低檢測效率。

有鑒于此，有必要對現有的半導體測試裝置予以改進，以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種適用范圍更廣的半導體測試裝置。

為實現上述實用新型目的，本實用新型提供了一種半導體測試裝置，包括：底座；多個限位塊，分別設置于所述底座上以固定待測元件；探針機構，設置于所述底座上以電性連接待測元件；移動機構，分別設置于所述限位塊和所述底座、所述探針機構和所述底座之間，以使所述限位塊和所述探針機構根據待測元件的尺寸能夠沿底座進行適應性地移動調整。

作為本實用新型的進一步改進，所述底座上設有沿所述探針機構移動方向延伸設置的導電區域，所述探針機構在滑動過程中始終電性連接所述導電區域。

作為本實用新型的進一步改進，移動機構具有設置于底座上與所述探針機構相配合的探針滑軌，所述探針滑軌包括平行設置的第一探針滑軌和第二探針滑軌，所述導電區域設置于所述第一探針滑軌和所述第二探針滑軌之間。

作為本實用新型的進一步改進，所述探針機構具有與所述導電區域電性連接的探針，所述探針的下端具有可沿所述導電區域滑動的滾珠或滾輪。

作為本實用新型的進一步改進，移動機構具有設置于底座上以與所述探針機構相配合的探針滑軌、與所述限位塊相配合的限位滑軌，所述探針滑軌和所述限位滑軌分別具有沿其各自延伸方向均勻設置的刻度。

作為本實用新型的進一步改進，所述探針滑軌位于相鄰的兩個限位滑軌之間，所述底座呈矩形設置，所述探針滑軌沿底座的對角線延伸設置，所述限位滑軌分別沿底座相對側的中心連線的方向延伸。

作為本實用新型的進一步改進，所述限位塊和所述限位滑軌、所述探針機構和所述探針滑軌之間分別設有相互固定的固定機構。

作為本實用新型的進一步改進，所述固定機構包括設置于所述探針滑軌和所述限位滑軌上的多個卡勾，所述限位塊和所述探針機構分別設有可與所述卡勾相固定和解除固定的卡槽。

作為本實用新型的進一步改進，所述限位塊具有用以承載待測元件的承載部、自所述承載面遠離待測元件的一側向上突伸的限位部。

作為本實用新型的進一步改進，所述測試裝置還包括蓋合所述底座的上蓋，所述上蓋具有自其下表面向下突伸的突出部、自所述突出部凹陷設置的上檢測區域、設置于所述上檢測區域內的光電傳感器。

本實用新型的有益效果：本實用新型通過在底座上設置可移動的限位塊和探針機構，從而實現各種尺寸待測元件的測試，節省成本。

附圖說明

圖1是本實用新型半導體測試裝置的立體示意圖。

圖2是本實用新型半導體測試裝置的俯視圖。

圖3是本實用新型探針機構的立體示意圖。

圖4是本實用新型限位塊的立體示意圖。

具體實施方式