[實用新型]TO底座轉料裝置有效
| 申請號: | 202020691690.0 | 申請日: | 2020-04-29 |
| 公開(公告)號: | CN211879359U | 公開(公告)日: | 2020-11-06 |
| 發明(設計)人: | 鄧俊杰;黃保 | 申請(專利權)人: | 武漢銳科光纖激光技術股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/677;H01S5/022 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人: | 李曉鋒 |
| 地址: | 430000 湖北省*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | to 底座 裝置 | ||
1.一種TO底座轉料裝置,其特征在于,包括工作臺、料盤座、支撐架、升降機構和吸放機構;所述料盤座通過X軸移動平臺滑動安裝于所述工作臺;所述支撐架包括底座和橫梁,所述橫梁通過所述底座安裝于所述工作臺,所述升降機構通過Y軸移動平臺滑動安裝于所述橫梁;所述吸放機構包括真空泵和安裝于所述升降機構的升降板的吸嘴,所述真空泵與所述吸嘴連通,以吸附待轉移的TO底座。
2.根據權利要求1所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述吸放機構還包括設有氣道的安裝塊,所述吸嘴通過所述安裝塊安裝于所述升降板,所述吸嘴的一端插裝于所述氣道,所述吸嘴的另一端用于吸附所述TO底座,所述吸嘴通過所述氣道與所述真空泵連通。
3.根據權利要求2所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述安裝塊設有多個所述氣道,相鄰所述氣道的間距相等。
4.根據權利要求3所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述吸放機構還包括設有分流腔的分流塊,所述分流塊安裝于所述升降板,所述分流腔設有總路氣口和多個支路氣口,所述總路氣口與所述真空泵連通,所述支路氣口與所述氣道連通。
5.根據權利要求2所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述吸放機構還包括蓋板,所述蓋板可拆卸安裝于所述安裝塊,所述蓋板與所述氣道相對應設有通氣孔,所述氣道通過所述通氣孔與所述真空泵連通。
6.根據權利要求5所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述吸放機構還包括設于所述氣道內的緩沖彈簧,所述緩沖彈簧的一端與所述吸嘴連接,另一端與所述蓋板的內壁連接。
7.根據權利要求1所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述料盤座的底面與所述X軸移動平臺可拆卸連接,所述料盤座的頂面設有與料盤盒的防呆缺口相對應的定位銷,所述料盤座上設有至少一個轉入料盤位和至少一個轉出料盤位。
8.根據權利要求1所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述Y軸移動平臺安裝于所述橫梁的一側,所述橫梁的另一側安裝有用于鋪設線纜保護鏈的支撐板,所述線纜保護鏈用于保護氣管和信號線纜,所述線纜保護鏈的一端與所述支撐板連接,另一端與所述升降機構連接。
9.根據權利要求8所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述升降機構還包括連接基座和伸縮氣缸,所述連接基座安裝于所述Y軸移動平臺,所述線纜保護鏈與所述連接基座連接,所述伸縮氣缸的缸體部安裝于所述連接基座,所述伸縮氣缸的活動部與所述升降板連接。
10.根據權利要求9所述的TO底座轉料裝置,其特征在于,所述連接基座的底部設有用以限制所述升降板的行程的限位板,所述限位板設有油壓緩沖器和限位螺釘,所述油壓緩沖器的端部和所述限位螺釘的端部朝向所述升降板。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





