[實(shí)用新型]濺鍍陰極的磁場(chǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020689901.7
• 申請(qǐng)日: 2020-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN212560423U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 游秀屏;游敬峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 柏霆（蘇州）光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型涉及磁控濺鍍?cè)O(shè)備領(lǐng)域，具體涉及濺鍍陰極的磁場(chǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括：驅(qū)動(dòng)電機(jī)、通過聯(lián)軸器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接的主動(dòng)偏心軸、從動(dòng)偏心軸、濺鍍陰極和濺鍍靶材；所述濺鍍陰極包括槽體、通過螺絲蓋設(shè)固定在槽體上槽體上蓋，以及設(shè)置在所述槽體和槽體上蓋圍成的內(nèi)腔中的磁鐵固定座、內(nèi)排磁鐵和外排磁鐵；采用本實(shí)用新型，驅(qū)動(dòng)電機(jī)作為動(dòng)力，聯(lián)軸器緩沖驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出，將扭力平穩(wěn)輸出至主動(dòng)偏心輪，配合從動(dòng)偏心輪使得磁鐵固定板可以在槽體和槽體上蓋形成的內(nèi)腔中，水平偏心運(yùn)動(dòng)，固定在磁鐵固定板上的內(nèi)排磁鐵和外排磁鐵的封閉磁感線范圍，得到進(jìn)一步擴(kuò)大使靶材利用率更高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及磁控濺鍍?cè)O(shè)備領(lǐng)域，具體涉及濺鍍陰極的磁場(chǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

濺鍍?cè)O(shè)備是一種使用電漿對(duì)靶材進(jìn)行離子轟擊，使靶材表面的原子可以被撞擊出來，最后沉積在待濺鍍物上形成薄膜的專用器具。根據(jù)激發(fā)電漿方式的不同，現(xiàn)有的濺鍍?cè)O(shè)備有許多種不同的形式，其中，磁控式濺鍍?cè)O(shè)備是在靠近靶材的位置安裝一個(gè)磁控裝置，利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)間的電磁效應(yīng)所產(chǎn)生的電磁力，來影響電漿內(nèi)的電子的移動(dòng)，使電子可以進(jìn)行螺旋式的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而增進(jìn)電子和氣體分子間的碰撞次數(shù)，以提高氣體分子離子化的機(jī)會(huì)。

在采用真空磁控濺鍍法對(duì)材料進(jìn)行表面沉積鍍膜設(shè)備方便，固定磁場(chǎng)形式的磁控濺鍍陰極其產(chǎn)生的封閉磁力線影響范圍為固定,故而作用于靶材上所施加的負(fù)電場(chǎng)其產(chǎn)生的正交場(chǎng)有效范圍較為狹窄,因此靶材表面的濺蝕區(qū)域集中,靶材使用率難以有效提升。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型目的是在于提供結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，可移動(dòng)濺鍍陰極磁場(chǎng)的機(jī)構(gòu)。

濺鍍陰極的磁場(chǎng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括：驅(qū)動(dòng)電機(jī)、通過聯(lián)軸器與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接的主動(dòng)偏心軸、從動(dòng)偏心軸、濺鍍陰極和濺鍍靶材；

所述濺鍍陰極包括槽體、通過螺絲蓋設(shè)固定在槽體上槽體上蓋，以及設(shè)置在所述槽體和槽體上蓋圍成的內(nèi)腔中的磁鐵固定座、內(nèi)排磁鐵和外排磁鐵；

所述磁鐵固定座上端設(shè)置有主動(dòng)軸承座和若干從動(dòng)軸承座；

所述槽體上蓋上設(shè)置有主動(dòng)軸承架和若干從動(dòng)軸承架；所述主動(dòng)偏心軸的一端連接聯(lián)軸器，另一端穿過主動(dòng)軸承架與主動(dòng)軸承座連接；所述從動(dòng)偏心軸穿過從動(dòng)軸承架與從動(dòng)軸承座連接。

進(jìn)一步的，所述主動(dòng)軸承架4內(nèi)嵌設(shè)有上軸承5，主動(dòng)軸承座17 內(nèi)設(shè)置有下軸承8，所述主動(dòng)偏心軸3的末端穿過上軸承5并設(shè)置有主動(dòng)曲柄31，所述主動(dòng)曲柄31通過下軸承8與主動(dòng)軸承座17連接。

進(jìn)一步的，所述從動(dòng)軸承架7內(nèi)嵌設(shè)有上軸承5，從動(dòng)軸承座9 內(nèi)設(shè)置有下軸承8，所述從動(dòng)偏心軸6的一端穿過上軸承5并設(shè)置有從動(dòng)曲柄61，所述從動(dòng)曲柄61通過下軸承8與從動(dòng)軸承座9連接。

進(jìn)一步的，所述內(nèi)排磁鐵11和外排磁鐵12均粘結(jié)固定于磁鐵固定座10下端面，所述外排磁鐵12設(shè)置在內(nèi)排磁鐵11外圍。

進(jìn)一步的，所述主動(dòng)偏心軸3設(shè)置于槽體上蓋16的中心點(diǎn),偏心位置設(shè)置于磁鐵固定座10的中心點(diǎn)。

本實(shí)用新型的有益效果是：

本實(shí)用新型正常工作狀態(tài)下，由驅(qū)動(dòng)電機(jī)作為動(dòng)力，通過聯(lián)軸器向主動(dòng)偏心軸輸出動(dòng)力，主動(dòng)偏心軸穿過主動(dòng)軸承架與主動(dòng)軸承座，由驅(qū)動(dòng)電機(jī)傳遞動(dòng)力至主動(dòng)軸承座，主動(dòng)軸承座固定在磁鐵固定座的上端，所以驅(qū)使磁鐵固定座產(chǎn)生水平偏心運(yùn)動(dòng)，磁鐵固定座本身為剛性固件，同樣固定在磁鐵固定座上的從動(dòng)軸承座被帶動(dòng)進(jìn)行偏心運(yùn)動(dòng)，從動(dòng)偏心軸也穿過從動(dòng)軸承架與從動(dòng)軸承座連接，起到穩(wěn)定磁鐵固定座的作用：磁鐵固定座在主動(dòng)偏心軸和從動(dòng)偏心軸的配合下，完成水平方向的偏心運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到磁場(chǎng)移動(dòng)到目的。

采用本實(shí)用新型，驅(qū)動(dòng)電機(jī)作為動(dòng)力，聯(lián)軸器緩沖驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出，將扭力平穩(wěn)輸出至主動(dòng)偏心輪，配合從動(dòng)偏心輪使得磁鐵固定板可以在槽體和槽體上蓋形成的內(nèi)腔中，水平偏心運(yùn)動(dòng)，固定在磁鐵固定板上的內(nèi)排磁鐵和外排磁鐵的封閉磁感線范圍，得到進(jìn)一步擴(kuò)大使靶材利用率更高。