[實用新型]濺鍍陰極的磁場移動機構

有效

• 申請號: 202020689901.7
• 申請日: 2020-04-29
• 公開（公告）號: CN212560423U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 游秀屏;游敬峰
• 申請（專利權）人: 柏霆（蘇州）光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.濺鍍陰極的磁場移動機構，其特征在于，包括：驅動電機(1)、通過聯軸器(2)與驅動電機(1)連接的主動偏心軸(3)、從動偏心軸(6)、濺鍍陰極和濺鍍靶材(13)；

所述濺鍍陰極包括槽體(14)、通過螺絲(15)蓋設固定在槽體(14)上槽體上蓋(16)，以及設置在所述槽體(14)和槽體上蓋(16)圍成的內腔中的磁鐵固定座(10)、內排磁鐵(11)和外排磁鐵(12)；

所述磁鐵固定座上端設置有主動軸承座(17)和若干從動軸承座(9)；

所述槽體上蓋(16)上設置有主動軸承架(4)和若干從動軸承架(7)；所述主動偏心軸(3)的一端連接聯軸器(2)，另一端穿過主動軸承架(4)與主動軸承座(17)連接；所述從動偏心軸(6)穿過從動軸承架(7)與從動軸承座(9)連接。

2.根據權利要求1所述的濺鍍陰極的磁場移動機構，其特征在于，所述主動軸承架(4)內嵌設有上軸承(5)，主動軸承座(17)內設置有下軸承(8)，所述主動偏心軸(3)的末端穿過上軸承(5)并設置有主動曲柄(31)，所述主動曲柄(31)通過下軸承(8)與主動軸承座(17)連接。

3.根據權利要求1所述的濺鍍陰極的磁場移動機構，其特征在于，所述從動軸承架(7)內嵌設有上軸承(5)，從動軸承座(9)內設置有下軸承(8)，所述從動偏心軸(6)的一端穿過上軸承(5)并設置有從動曲柄(61)，所述從動曲柄(61)通過下軸承(8)與從動軸承座(9)連接。

4.根據權利要求1所述的濺鍍陰極的磁場移動機構，其特征在于，所述內排磁鐵(11)和外排磁鐵(12)均粘結固定于磁鐵固定座(10)下端面，所述外排磁鐵(12)設置在內排磁鐵(11)外圍。

5.根據權利要求1所述的濺鍍陰極的磁場移動機構，其特征在于，所述主動偏心軸(3)設置于槽體上蓋(16)的中心點,偏心位置設置于磁鐵固定座(10)的中心點。