[實用新型]一種基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計

有效

• 申請號: 202020686733.6
• 申請日: 2020-04-28
• 公開（公告）號: CN211783642U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 顧宇;葉寒生;丁鋒;韓忠俊;周長林
• 申請（專利權）人: 合肥科邁捷智能傳感技術有限公司
• 主分類號: G01F1/34
• 分類號: G01F1/34;G01F15/10
• 代理公司: 合肥律眾知識產權代理有限公司 34147
• 代理人: 秦超

本實用新型公開了一種基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計，包括探桿，探桿一端設置有探頭，另一端設置有緩沖罐，探測管路內流量時，探頭插入管路內，探桿和管路呈垂直分布，緩沖罐內通過隔板沿著管路內氣體/液體流向將其內腔分為A腔和B腔，探桿內沿著其桿長方向設置有兩毛細管，兩毛細管沿著管路內氣體/液體流向間隔分布，兩毛細管靠近緩沖罐一端分別與A腔和B腔連通，另一端下端設置在探頭內并能夠與管路內部連通，A腔和B腔連接A壓力傳感器，A壓力傳感器用于檢測A腔和B腔內的壓力，通過A腔和B腔的壓力差換算成流量值，本實用新型結構穩定，布局合理，安裝方便，使用方便，具備抗振動干擾功能，檢測數值精確。

技術領域

本實用新型涉及流量計領域，具體涉及一種基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計。

背景技術

隨著科技的發展，智能化工廠發展迅速，對于工廠能源計量的需求也在逐漸擴大，對流量計的成本也有著更加苛刻的要求，而MEMS傳感器技術由于其易于大規模制造，相比工業傳統的傳感器成本更低，因此采用MEMS傳感器設計一種成本更有競爭力的工業流量計可更好的適應工廠能源計量的應用。

目前已有的專利公開的“一種智能型多參量差壓流量計”，該結構包括差壓變送器和探桿，所述差壓變送器表頭內部安裝有轉換器，差壓變送器表頭一端固定有信號線保護管，差壓變送器表頭另一端引出電源信號線；差壓變送器底部安裝有底座，信號線保護管底部與底座固定相連；底座前端安裝有兩通電磁閥，底座后端安裝有安裝有壓力傳感器；底座底部通過支撐柱與探桿固定相連。此專利設計中采用了差壓變送器的方式，產品價格高、體積大，導致無法進行大面積推廣使用。

因此，需要設計一種既能避免振動干擾，又能結構輕便使用方便的高性價比差壓流量計。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計，包括探桿，探桿一端設置有探頭，另一端設置有緩沖罐，探測管路內流量時，探頭插入管路內，探桿和管路呈垂直分布，緩沖罐內通過隔板沿著管路內氣體/液體流向將其內腔分為A腔和B腔，探桿內沿著其桿長方向設置有兩毛細管，兩毛細管沿著管路內氣體/液體流向間隔分布，兩毛細管靠近緩沖罐一端分別與A腔和B腔連通，另一端下端設置在探頭內并能夠與管路內部連通，A腔和B腔連接A壓力傳感器，A壓力傳感器用于檢測A腔和B腔內的壓力，通過A腔和B腔的壓力差換算成流量值。

優選的：探頭靠近探桿的端面開設有進口和出口，進口和出口沿探桿桿長方向開設通孔，探頭側壁沿通孔的位置開設有U型槽，探頭上端的進口和出口分別與對應的毛細管焊接。

優選的：探頭內部還開有溫度孔，溫度孔中安裝有溫度傳感器。

優選的：探頭靠近探桿的端面焊接在探桿上。

優選的：探桿桿身上裝有用于卡接管路的卡套。

優選的：A壓力傳感器布置在緩沖罐上遠離兩毛細管的一端，緩沖罐上對應A壓力傳感器位置開設有兩通孔，兩通孔分別于A腔和B腔連通，A壓力傳感器通過通孔和A腔和B腔連接。

優選的：A壓力傳感器為MEMS壓力傳感器。

優選的：A腔側壁開設有取壓孔，取壓孔通過管路和壓力傳感器連接。

優選的：緩沖罐安裝在表殼內，探桿靠近緩沖罐一端通過固定座安裝在表殼上。

優選的：表殼和探桿連接處開設有螺紋孔，固定座通過螺紋配合的方式安裝在螺紋孔內。

本實用新型的技術效果和優點：本實用新型結構穩定，布局合理，安裝方便，使用方便，具備抗振動干擾功能，檢測數值精確，較之同類產品造價較低，滿足了現在的使用要求。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體剖視結構示意圖；

圖2為本實用新型的探頭結構示意圖。