[實(shí)用新型]一種基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020686733.6
• 申請(qǐng)日: 2020-04-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211783642U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧宇;葉寒生;丁鋒;韓忠俊;周長(zhǎng)林
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥科邁捷智能傳感技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01F1/34
• 分類(lèi)號(hào): G01F1/34;G01F15/10
• 代理公司: 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34147
• 代理人: 秦超

1.一種基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：包括探桿(100)，探桿(100)一端設(shè)置有探頭(300)，另一端設(shè)置有緩沖罐(200)，探測(cè)管路內(nèi)流量時(shí)，探頭(300)插入管路內(nèi)，探桿(100)和管路呈垂直分布，緩沖罐(200)內(nèi)通過(guò)隔板沿著管路內(nèi)氣體/液體流向?qū)⑵鋬?nèi)腔分為A腔(210)和B腔(220)，探桿(100)內(nèi)沿著其桿長(zhǎng)方向設(shè)置有兩毛細(xì)管(800)，兩毛細(xì)管(800)沿著管路內(nèi)氣體/液體流向間隔分布，兩毛細(xì)管(800)靠近緩沖罐一端分別與A腔(210)和B腔(220)連通，另一端下端設(shè)置在探頭(300)內(nèi)并能夠與管路內(nèi)部連通，A腔(210)和B腔(220)連接A壓力傳感器(500)，A壓力傳感器(500)用于檢測(cè)A腔(210)和B腔(220)內(nèi)的壓力，通過(guò)A腔和B腔的壓力差換算成流量值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述探頭(300)靠近探桿(100)的端面開(kāi)設(shè)有進(jìn)口和出口，進(jìn)口和出口沿探桿(100)桿長(zhǎng)方向開(kāi)設(shè)通孔，探頭(300)側(cè)壁沿通孔的位置開(kāi)設(shè)有U型槽(310)，探頭(300)上端的進(jìn)口和出口分別與對(duì)應(yīng)的毛細(xì)管(800)焊接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述探頭(300)內(nèi)部還開(kāi)有溫度孔，溫度孔中安裝有溫度傳感器(320)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述探頭(300)靠近探桿(100)的端面焊接在探桿(100)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述探桿(100)桿身上裝有用于卡接管路的卡套(900)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述A壓力傳感器(500)布置在緩沖罐(200)上遠(yuǎn)離兩毛細(xì)管(800)的一端，緩沖罐(200)上對(duì)應(yīng)A壓力傳感器(500)位置開(kāi)設(shè)有兩通孔，兩通孔分別于A腔(210)和B腔(220)連通，A壓力傳感器(500)通過(guò)通孔和A腔(210)和B腔(220)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述A壓力傳感器(500)為MEMS壓力傳感器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述A腔(210)側(cè)壁開(kāi)設(shè)有取壓孔，取壓孔通過(guò)管路和壓力傳感器(600)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述緩沖罐(200)安裝在表殼(400)內(nèi)，探桿(100)靠近緩沖罐(200)一端通過(guò)固定座(700)安裝在表殼上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于MEMS壓力傳感器的差壓流量計(jì)，其特征在于：所述表殼(400)和探桿(100)連接處開(kāi)設(shè)有螺紋孔，固定座(700)通過(guò)螺紋配合的方式安裝在螺紋孔內(nèi)。