[實用新型]一種除脂裝置

有效

• 申請號: 202020683429.6
• 申請日: 2020-04-28
• 公開（公告）號: CN211605110U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 楊帆;吳六一;沈先余;嚴鑫
• 申請（專利權）人: 甬矽電子(寧波)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 孔鵬

1.一種除脂裝置，用于對基板的邊緣粘附的樹脂進行清理，其特征在于，所述除脂裝置包括托盤和清理件，所述托盤設置有用于對基板進行定位的夾持部，所述夾持部設置有用于暴露所述樹脂的開口，所述清理件可活動地設置于所述托盤，以對從所述開口露出的粘附在所述基板邊緣上的所述樹脂進行清理。

2.根據權利要求1所述的除脂裝置，其特征在于，所述夾持部設置有多個層疊分布的夾持區域，多個所述夾持區域均與所述開口連通，多個所述夾持區域用于分別夾持多個不同的所述基板，以對多個不同的所述基板進行定位。

3.根據權利要求2所述的除脂裝置，其特征在于，所述托盤設置有引導槽，所述引導槽包括依次連接的第一側壁、第二側壁和第三側壁，所述夾持部位于所述引導槽內，所述開口包括沿所述夾持部的周向依次連通的第一口、第二口、第三口和第四口，所述第一口朝向所述第一側壁，所述第二口朝向所述第二側壁，所述第三口朝向所述第三側壁，所述引導槽用于引導所述基板從所述第四口進入所述夾持區域。

4.根據權利要求3所述的除脂裝置，其特征在于，所述第一側壁和所述第三側壁上分別設置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔與所述第一口連通，所述第二通孔與所述第三口連通；

所述清理件同時與所述第一側壁和所述第三側壁連接，所述清理件用于對通過所述第一口和所述第一通孔露出的粘附在所述基板其中一側邊緣上的樹脂以及通過所述第三口和所述第二通孔露出的粘附在所述基板其中另一側邊緣上的樹脂同時進行清理作業。

5.根據權利要求3所述的除脂裝置，其特征在于，所述除脂裝置還包括靜電皮，所述靜電皮的兩側分別抵接于所述第二側壁和所述夾持部，所述靜電皮用于封閉所述第二口。

6.根據權利要求3所述的除脂裝置，其特征在于，所述除脂裝置還包括擋板，所述擋板可拆卸地連接于所述托盤，以打開或封閉所述第四口。

7.根據權利要求3所述的除脂裝置，其特征在于，所述清理件包括第一板、第二板和第三板，所述第一板、所述第二板和所述第三板依次連接，且形成U形結構，所述夾持部位于所述第一板和所述第三板之間，所述第二板可活動地連接于所述托盤，以使所述第一板和所述第三板能夠分別對通過所述第一口和所述第三口露出的粘附在所述基板的相對邊緣上的樹脂進行清理。

8.根據權利要求7所述的除脂裝置，其特征在于，所述第一板靠近所述第三板的一側以及所述第三板靠近所述第一板的一側均設置有多個間隔設置凸起。

9.根據權利要求3-8任一項所述的除脂裝置，其特征在于，所述除脂裝置還包括第一支撐柱，所述托盤可轉動地連接于所述第一支撐柱，以使所述基板在重力作用下，能夠沿所述引導槽的延伸方向從所述第四口進入所述夾持區域。

10.根據權利要求9所述的除脂裝置，其特征在于，所述除脂裝置還包括第二支撐柱和緊固件，所述第二支撐柱與所述第一支撐柱間隔設置，所述緊固件可拆卸地連接于所述第二支撐柱和所述托盤，以在第一狀態與第二狀態之間切換；

在所述第一狀態下，所述緊固件同時連接于所述第二支撐柱和所述托盤，所述托盤與所述第二支撐柱相對固定，所述托盤不能相對于所述第一支撐柱轉動；

在所述第二狀態下，所述緊固件脫離于所述第二支撐柱和/或所述托盤，所述托盤相對于所述第一支撐柱可轉動。