[實(shí)用新型]氣體分布臺(tái)和懸浮傳動(dòng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020682301.8
• 申請(qǐng)日: 2020-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN212103001U
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李哲峰;烏磊;聆領(lǐng)安辛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市原速光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455;C23C16/54
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 郭春芳

本實(shí)用新型公開一種氣體分布臺(tái)和懸浮傳動(dòng)裝置，其中，所述氣體分布臺(tái)包括本體和多個(gè)傳動(dòng)輥，所述本體設(shè)有多個(gè)原子層沉積單元，每一所述原子層沉積單元設(shè)有擴(kuò)散孔，每一所述傳動(dòng)輥設(shè)于相鄰的兩個(gè)所述原子層沉積單元之間，所述傳動(dòng)輥突出所述原子層沉積單元的槽口所在平面；或，所述氣體分布臺(tái)包括多個(gè)子臺(tái)體和多個(gè)傳動(dòng)輥，每一所述子臺(tái)體設(shè)有多個(gè)原子層沉積單元，每一所述原子層沉積單元內(nèi)設(shè)有擴(kuò)散孔，每一所述傳動(dòng)輥設(shè)于相鄰的兩個(gè)所述子臺(tái)體之間，所述傳動(dòng)輥突出所述原子層沉積單元的槽口所在平面。本實(shí)用新型技術(shù)方案隔開氣體分布臺(tái)和沉積基材，避免待沉積基材膜劃損，從而降低廢品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及原子層沉積技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種氣體分布臺(tái)和懸浮傳動(dòng)裝置。

背景技術(shù)

目前的懸浮傳動(dòng)裝置都是通過傳動(dòng)裝置直接將沉積基材膜傳送在氣體分布臺(tái)上，在傳動(dòng)的過程中，沉積基材膜容易與氣體分布臺(tái)內(nèi)的零部件表面摩擦容易刮花，導(dǎo)致廢品率較高。

上述內(nèi)容僅用于輔助理解本申請(qǐng)的技術(shù)方案，并不代表承認(rèn)上述內(nèi)容是現(xiàn)有技術(shù)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的是提供一種氣體分布臺(tái)和懸浮傳動(dòng)裝置，旨在隔開氣體分布臺(tái)和沉積基材膜，避免沉積基材膜劃損，從而降低廢品率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出的一種氣體分布臺(tái)；所述氣體分布臺(tái)包括本體和多個(gè)傳動(dòng)輥，所述本體設(shè)有多個(gè)原子層沉積單元，每一所述原子層沉積單元內(nèi)設(shè)有擴(kuò)散孔，每一所述傳動(dòng)輥設(shè)于相鄰的兩個(gè)所述原子層沉積單元之間，所述傳動(dòng)輥突出所述原子層沉積單元的槽口所在平面；

或，所述氣體分布臺(tái)包括本體和多個(gè)傳動(dòng)輥，所述本體包括多個(gè)子臺(tái)體，每一所述子臺(tái)體設(shè)有多個(gè)原子層沉積單元，每一所述原子層沉積單元內(nèi)設(shè)有擴(kuò)散孔，每一所述傳動(dòng)輥設(shè)于相鄰的兩個(gè)所述子臺(tái)體之間，所述傳動(dòng)輥突出所述原子層沉積單元的槽口所在平面。

在一實(shí)施例中，每一所述傳動(dòng)輥與所述本體活動(dòng)連接；或，每一所述傳動(dòng)輥與所述子臺(tái)體活動(dòng)連接。

在一實(shí)施例中，所述本體還凹設(shè)有多個(gè)容納槽，每一所述容納槽位于相鄰的兩個(gè)所述原子層沉積單元之間，并與相鄰的兩個(gè)所述原子層沉積單元連通，每一所述傳動(dòng)輥設(shè)于一所述容納槽內(nèi)，并突出所述容納槽的槽口，且所述傳動(dòng)輥與所述容納槽的槽壁之間具有間隔。

在一實(shí)施例中，所述氣體分布臺(tái)還包括設(shè)于所述本體的抽氣裝置，每一所述容納槽的槽壁設(shè)有多個(gè)間隔排布的抽氣孔，所述抽氣裝置與多個(gè)所述抽氣孔連通，所述抽氣裝置用于抽離位于所述容納槽內(nèi)的氣體。

在一實(shí)施例中，所述氣體分布臺(tái)還包括設(shè)于多個(gè)安裝座，且多個(gè)所述安裝座分別設(shè)于所述本體相對(duì)兩側(cè)，每一所述傳動(dòng)輥的兩端分別與兩個(gè)所述安裝座可拆卸連接。

在一實(shí)施例中，所述安裝座包括：

基座，設(shè)于所述本體的外壁；和

安裝塊，抵接于所述基座，所述傳動(dòng)輥的一端與所述安裝塊可拆卸地連接。

在一實(shí)施例中，所述安裝座還包括設(shè)于所述基座與所述安裝塊之間的墊片，所述墊用于調(diào)節(jié)所述安裝塊在所述基座上的高度。

在一實(shí)施例中，所述基座包括底板和設(shè)于所述底板的第一側(cè)板和第二側(cè)板，所述底板與所述第一側(cè)板、所述第二側(cè)板呈夾角設(shè)置，所述底板、所述第一側(cè)板及所述第二側(cè)板圍合形成安裝槽，所述安裝塊放置于所述安裝槽內(nèi)。

在一實(shí)施例中，所述氣體分布臺(tái)還包括多個(gè)滾動(dòng)軸承，每一所述滾動(dòng)軸承設(shè)于一所述安裝塊，每一所述傳動(dòng)輥的兩端分別插設(shè)于兩個(gè)所述滾動(dòng)軸承的中心孔處，以使所述傳動(dòng)輥可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于所述安裝塊。

本實(shí)用新型還提出一種懸浮傳動(dòng)裝置，所述原子層沉積系統(tǒng)包括所述氣體分布臺(tái)。