[實用新型]氣體分布臺和懸浮傳動裝置

有效

• 申請號: 202020682301.8
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN212103001U
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 李哲峰;烏磊;聆領安辛
• 申請（專利權）人: 深圳市原速光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/54
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 郭春芳

1.一種氣體分布臺，其特征在于，所述氣體分布臺包括本體和多個傳動輥，所述本體設有多個原子層沉積單元，每一所述傳動輥設于相鄰的兩個所述原子層沉積單元之間，所述傳動輥突出所述原子層沉積單元的槽口所在平面；

或，所述氣體分布臺包括本體和多個傳動輥，所述本體包括多個子臺體，每一所述子臺體設有多個原子層沉積單元，每一所述原子層沉積單元內設有擴散孔，每一所述傳動輥設于相鄰的兩個所述子臺體之間，所述傳動輥突出所述原子層沉積單元的槽口所在平面。

2.如權利要求1所述的氣體分布臺，其特征在于，每一所述傳動輥與所述本體活動連接；或，每一所述傳動輥與所述子臺體活動連接。

3.如權利要求2所述的氣體分布臺，其特征在于，所述本體還設有多個容納槽，每一所述容納槽位于相鄰的兩個所述原子層沉積單元之間，并與相鄰的兩個所述原子層沉積單元連通，每一所述傳動輥設于一所述容納槽內，并突出所述容納槽的槽口，且所述傳動輥與所述容納槽的槽壁之間具有間隔。

4.如權利要求3所述的氣體分布臺，其特征在于，所述氣體分布臺還包括設于所述本體的抽氣裝置，每一所述容納槽的槽壁設有多個間隔排布的抽氣孔，所述抽氣裝置與多個所述抽氣孔連通，所述抽氣裝置用于抽離位于所述容納槽內的氣體。

5.如權利要求4所述的氣體分布臺，其特征在于，所述氣體分布臺還包括多個安裝座，多個所述安裝座分別設于所述本體相對兩側，每一所述傳動輥的兩端分別與兩個所述安裝座可拆卸連接。

6.如權利要求5所述的氣體分布臺，其特征在于，所述安裝座包括：

基座，設于所述本體的外壁；和

安裝塊，抵接于所述基座，所述傳動輥的一端與所述安裝塊可拆卸地連接。

7.如權利要求6所述的氣體分布臺，其特征在于，所述安裝座還包括設于所述基座與所述安裝塊之間的墊片，所述墊片用于調節所述安裝塊在所述基座上的高度。

8.如權利要求7所述的氣體分布臺，其特征在于，所述基座包括底板和設于所述底板的第一側板和第二側板，所述底板與所述第一側板、所述第二側板呈夾角設置，所述底板、所述第一側板及所述第二側板圍合形成安裝槽，所述安裝塊放置于所述安裝槽內。

9.如權利要求8所述的氣體分布臺，其特征在于，所述氣體分布臺還包括多個滾動軸承，每一所述滾動軸承設于一所述安裝塊，每一所述傳動輥的兩端分別插設于兩個所述滾動軸承的中心孔處。

10.一種懸浮傳動裝置，其特征在于，所述懸浮傳動裝置包括如權利要求1至9中任意一項所述的氣體分布臺。