[實用新型]一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡及關鍵結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020673923.4
• 申請日: 2020-04-28
• 公開（公告）號: CN212060359U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設計）人: 于海超;趙梁玉;周明;劉明星
• 申請（專利權）人: 強一半導體（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/26;G01R31/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，包括探針卡所述探針卡表面連接有若干探針，探針卡表面中心固定安裝有束流框二，若干探針穿過束流框二且連接有焊點二，束流框二的外側設有固定安裝與探針卡表面的束流框一，若干探針穿過束流框一且連接有焊點一，所述束流框一的外側設有固定安裝于探針卡表面的束針框，若干探針貫穿束針框，本實用新型通過在探針卡上設置兩束流框，將焊點點在束流框上，加固探針與探針卡連接強度的同時，抑制助焊劑的擴散，充分發(fā)揮助焊劑的促焊作用。

技術領域

本實用新型涉及一種探針卡，具體是一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡及關鍵結構。

背景技術

探針卡技術不是伴隨MEMS技術發(fā)展的，建議修改為“在半導體測試領域，電性能越來越極端，總是更加節(jié)距和密度的增加，機械精度高，測試溫度高達200攝氏度，時間周期縮短，并行性高，最終易于修復，維護簡單，MEMS技術提供了更先進的解決方案。

探針卡是一種測試接口，主要對裸芯進行測試，通過連接測試機和芯片，通過傳輸信號對芯片參數進行測試，是將探針卡上的探針直接與芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出芯片訊號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化量測的目的。探針卡應用在IC尚未封裝前，針對裸晶系以探針做功能測試，篩選出不良品、再進行之后的封裝工程。因此，探針卡是IC制造中對制造成本影響相當大的重要制程之一；

探針卡在焊接上探針時經常需要用到助焊劑，用于促進焊接過程，但是，現(xiàn)有的探針卡不具備抑制助焊劑擴散的功能，導致助焊劑的實際作用不大，且有可能影響到探針與探針卡的焊接強度。因此，本實用新型提供了一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，以解決上述背景技術中提出的問題。

發(fā)明內容

本實用新型的目的在于提供一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，包括探針卡，其特征在于，所述探針卡上設置有抑制結構和束制結構；

所述探針卡抑制結構包括探針卡表面連接的若干探針，探針卡表面中心固定安裝有束流框二，若干探針穿過束流框二且連接有焊點二，所述束流框二的外側設有固定安裝與探針卡表面的束流框一，若干探針穿過束流框一且連接有焊點一；

所述探針卡的束制結構包括束流框一的外側設置的束針框，束針框固定安裝于探針卡表面的，若干探針均貫穿束針框。

作為本實用新型進一步的方案：所述束流框一為矩形框體，且框體表面開設有開槽一。

作為本實用新型再進一步的方案：所述束流框二為環(huán)形框體，且框體表面開設有開槽二。

作為本實用新型再進一步的方案：所述焊點一和焊點二分別位于束流框一和束流框二上。

作為本實用新型再進一步的方案：所述探針卡表面呈正方形，且探針卡表面四角處均開設有通孔。

一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡用關鍵結構，所述所述關鍵結構為抑制結構，包括探針卡表面連接的若干探針，探針卡表面中心固定安裝有束流框二，若干探針穿過束流框二且連接有焊點二，所述束流框二的外側設有固定安裝與探針卡表面的束流框一，若干探針穿過束流框一且連接有焊點一。

一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡用關鍵結構，為抑制結構，包括探針卡表面連接的若干探針，探針卡表面中心固定安裝有束流框二，若干探針穿過束流框二且連接有焊點二，所述束流框二的外側設有固定安裝與探針卡表面的束流框一，若干探針穿過束流框一且連接有焊點一。

一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡用關鍵結構，為束制結構，包括束流框一的外側設置的束針框，束針框固定安裝于探針卡表面的，若干探針均貫穿束針框。