[實用新型]一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡及關鍵結構有效
| 申請號： | 202020673923.4 | 申請日： | 2020-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN212060359U | 公開（公告）日： | 2020-12-01 |
| 發明（設計）人： | 于海超;趙梁玉;周明;劉明星 | 申請（專利權）人： | 強一半導體（蘇州）有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 改善 焊劑 擴散 mems 懸臂 探針 關鍵 結構 | ||
1.一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，包括探針卡（1），其特征在于，所述探針卡（1）上設置有抑制結構和束制結構；
所述探針卡（1）抑制結構包括探針卡（1）表面連接的若干探針（7），探針卡（1）表面中心固定安裝有束流框二（4），若干探針（7）穿過束流框二（4）且連接有焊點二（6），所述束流框二（4）的外側設有固定安裝與探針卡（1）表面的束流框一（3），若干探針（7）穿過束流框一（3）且連接有焊點一（5）；
所述探針卡（1）的束制結構包括束流框一（3）的外側設置的束針框（2），束針框（2）固定安裝于探針卡（1）表面的，若干探針（7）均貫穿束針框（2）。
2.根據權利要求1所述的一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，其特征在于，所述束流框一（3）為矩形框體，且框體表面開設有開槽一（9）。
3.根據權利要求1所述的一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，其特征在于，所述束流框二（4）為環形框體，且框體表面開設有開槽二（10）。
4.根據權利要求1所述的一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，其特征在于，所述焊點一（5）和焊點二（6）分別位于束流框一（3）和束流框二（4）上。
5.根據權利要求1所述的一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡，其特征在于，所述探針卡（1）表面呈正方形，且探針卡（1）表面四角處均開設有通孔（8）。
6.一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡用關鍵結構，其特征在于，所述關鍵結構為抑制結構，包括探針卡（1）表面連接的若干探針（7），探針卡（1）表面中心固定安裝有束流框二（4），若干探針（7）穿過束流框二（4）且連接有焊點二（6），所述束流框二（4）的外側設有固定安裝與探針卡（1）表面的束流框一（3），若干探針（7）穿過束流框一（3）且連接有焊點一（5）。
7.一種改善助焊劑擴散的MEMS懸臂探針卡用關鍵結構，其特征在于，所述關鍵結構為束制結構，包括束流框一（3）的外側設置的束針框（2），束針框（2）固定安裝于探針卡（1）表面的，若干探針（7）均貫穿束針框（2）。
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