[實用新型]一種光刻膠灌裝裝置

有效

• 申請號: 202020665670.6
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN212127491U
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 宋里千
• 申請（專利權）人: 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
• 主分類號: B67C3/26
• 分類號: B67C3/26;B67C3/22
• 代理公司: 北京力量專利代理事務所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 韓慧穎

本實用新型涉及光刻膠生產技術領域,尤其涉及一種光刻膠灌裝裝置,包括取膠筒，所述取膠筒沿筒周身一圈設置有周向分布的儲膠室若干個，儲膠室的出口處設置有可滑動蓋合所述儲膠室的閘板，取膠筒的頂部設置有推動油缸，推動油缸的底部輸出端設置有可上下升降的安裝架，安裝架的底部安裝有負壓泵，負壓泵的輸入端設置有吸取管頭、負壓泵的輸出端設置有灌裝管頭，本實用新型解決了光刻膠無法保持定量灌裝涂抹，會影響硅片的產品質量的問題，通過本灌裝裝置可以確保每一次定量抽取并灌裝光刻膠的膠液，灌裝過程可持續進行，人工作業量降低，對生產工藝起到了明顯的促進作用，硅片產品的生產質量得到提升，適宜推廣使用。

技術領域

本實用新型涉及光刻膠生產技術領域，尤其涉及一種光刻膠灌裝裝置。

背景技術

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。硅片制造中所用的光刻膠以液態涂在硅片表面，而后被干燥成膠膜。

硅片制造工藝中，光刻膠在噴涂之前需要將其灌裝到指定容器中，然后通過容器將其涂在硅片上，現有的光刻膠灌裝最為常見的方式還是人工灌裝，這樣的工作方式下，每一次灌裝涂用的光刻膠的膠液量無法保持一致，會影響產品的加工質量。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的光刻膠無法保持定量灌裝涂抹，會影響硅片的產品質量的缺點，而提出的一種光刻膠灌裝裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種光刻膠灌裝裝置，包括取膠筒，所述取膠筒沿筒周身一圈設置有周向分布的儲膠室若干個，儲膠室的出口處設置有可滑動蓋合所述儲膠室的閘板，所述取膠筒的頂部設置有推動油缸，推動油缸的底部輸出端設置有豎向的推動伸縮臂，推動伸縮臂的底端設置有安裝架，安裝架的底部安裝有負壓泵，負壓泵的輸入端位于下方，輸入端設置有吸取管頭，吸取管頭位于儲膠室的上方，負壓泵的輸出端位于一側，輸出端向外引出輸液管道，輸液管道遠離負壓泵的端部設置有灌裝管頭。

優選的，所述取膠筒的中心插設有驅動軸，驅動軸的一端向外延伸至取膠筒的外側，驅動軸的外端與旋轉電機的輸出端呈同心固定連接。

優選的，所述取膠筒的底部放置有膠液儲藏盆。

優選的，所述取膠筒在每一個所述的儲膠室的側部對應位置處分別設置有推桿電機，推桿電機的輸出端設置有推桿，推桿的端部鉸接有閘板。

優選的，所述閘板蓋合在儲膠室的出口上，閘板由第一閘板和第二閘板組成，第二閘板的一端鉸接在取膠筒上，第二閘板的另一端與第一閘板鉸接，所述推桿遠離推桿電機的一端鉸接在第二閘板上。

優選的，所述儲膠室的出口內側壁兩壁面對應位置處分別設置有滑軌，所述第一閘板的邊緣兩側分別設置有與所述滑軌的位置相適配的導向輪。

本實用新型的有益效果是：通過本方案提出的灌裝裝置，解決了光刻膠無法保持定量灌裝涂抹，會影響硅片的產品質量的問題，通過本灌裝裝置可以確保每一次定量灌裝光刻膠的膠液，灌裝過程可持續進行，降低人工操作的作業量，對生產工藝起到了明顯的促進作用，大大提升了硅片產品的生產質量，使用效果好，適宜推廣使用。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種光刻膠灌裝裝置的主視結構示意圖；

圖2為本實用新型提出的一種光刻膠灌裝裝置的俯視結構示意圖；

圖3為本實用新型提出的一種光刻膠灌裝裝置的閘板結構示意圖。

圖中：1膠液儲藏盆、2取膠筒、3驅動軸、4儲膠室、5推桿電機、6閘板、61第一閘板、62第二閘板、7推桿、8滑軌、9推動油缸、10安裝架、11負壓泵、12吸取管頭、13輸液管道、14灌裝管頭、15旋轉電機、16導向輪。