[實用新型]一種光刻膠灌裝裝置

有效

• 申請號: 202020665670.6
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN212127491U
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 宋里千
• 申請（專利權）人: 廈門恒坤新材料科技股份有限公司
• 主分類號: B67C3/26
• 分類號: B67C3/26;B67C3/22
• 代理公司: 北京力量專利代理事務所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 韓慧穎

1.一種光刻膠灌裝裝置，其特征在于，包括取膠筒(2)，所述取膠筒(2)沿筒周身一圈設置有周向分布的儲膠室(4)若干個，儲膠室(4)的出口處設置有可滑動蓋合所述儲膠室(4)的閘板(6)，所述取膠筒(2)的頂部設置有推動油缸(9)，推動油缸(9)的底部輸出端設置有豎向的推動伸縮臂，推動伸縮臂的底端設置有安裝架(10)，安裝架(10)的底部安裝有負壓泵(11)，負壓泵(11)的輸入端位于下方，輸入端設置有吸取管頭(12)，吸取管頭(12)位于儲膠室(4)的上方，負壓泵(11)的輸出端位于一側，輸出端向外引出輸液管道(13)，輸液管道(13)遠離負壓泵(11)的端部設置有灌裝管頭(14)。

2.根據權利要求1所述的一種光刻膠灌裝裝置，其特征在于，所述取膠筒(2)的中心插設有驅動軸(3)，驅動軸(3)的一端向外延伸至取膠筒(2)的外側，驅動軸(3)的外端與旋轉電機(15)的輸出端呈同心固定連接。

3.根據權利要求1所述的一種光刻膠灌裝裝置，其特征在于，所述取膠筒(2)的底部放置有膠液儲藏盆(1)。

4.根據權利要求1所述的一種光刻膠灌裝裝置，其特征在于，所述取膠筒(2)在每一個所述的儲膠室(4)的側部對應位置處分別設置有推桿電機(5)，推桿電機(5)的輸出端設置有推桿(7)，推桿(7)的端部鉸接有閘板(6)。

5.根據權利要求4所述的一種光刻膠灌裝裝置，其特征在于，所述閘板(6)蓋合在儲膠室(4)的出口上，閘板(6)由第一閘板(61)和第二閘板(62)組成，第二閘板(62)的一端鉸接在取膠筒(2)上，第二閘板(62)的另一端與第一閘板(61)鉸接，所述推桿(7)遠離推桿電機(5)的一端鉸接在第二閘板(62)上。

6.根據權利要求5所述的一種光刻膠灌裝裝置，其特征在于，所述儲膠室(4)的出口內側壁兩壁面對應位置處分別設置有滑軌(8)，所述第一閘板(61)的邊緣兩側分別設置有與所述滑軌(8)的位置相適配的導向輪(16)。