[實用新型]一種石墨卡點及石墨舟有效
| 申請號： | 202020656768.5 | 申請日： | 2020-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN212404276U | 公開（公告）日： | 2021-01-26 |
| 發明（設計）人： | 張明明;徐順波;陳園;邱江南;雷佳;宋賢德;晏鵬輝 | 申請（專利權）人： | 江西展宇新能科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/458 | 分類號： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 張欣然 |
| 地址： | 334100 江西*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石墨 | ||
1.一種石墨卡點，其特征在于，包括卡點基座(1)和卡點帽(2)，所述卡點基座(1)和所述卡點帽(2)之間通過連接柱(3)固定連接；所述卡點基座(1)的直徑和所述卡點帽(2)的直徑分別大于所述連接柱(3)的直徑，所述卡點基座(1)、所述卡點帽(2)和所述連接柱(3)圍成用于卡裝硅片的卡槽；
所述卡點帽(2)表面包括相互對接的豎直面(21)和導向斜面(22)，所述豎直面(21)位于槽底一側，與所述卡點基座(1)的間距相等；所述導向斜面(22)位于槽頂一側，與所述卡點基座(1)的間距從槽頂側向槽底側逐漸縮小。
2.根據權利要求1所述的石墨卡點，其特征在于，所述卡點基座(1)的兩側面分別設置一個所述卡點帽(2)，在所述卡點基座(1)的兩側形成兩個卡槽。
3.根據權利要求1所述的石墨卡點，其特征在于，所述導向斜面(22)為外凸的圓弧面。
4.根據權利要求3所述的石墨卡點，其特征在于，所述導向斜面(22)的縱截面端部為半徑0.4-0.6mm的圓弧。
5.根據權利要求3所述的石墨卡點，其特征在于，所述豎直面(21)與所述卡點基座(1)之間的間距為硅片厚度的1.5～2倍。
6.根據權利要求3所述的石墨卡點，其特征在于，所述導向斜面(22)與所述豎直面(21)相交位置的切角為30-50度。
7.一種石墨舟，包括多塊平行設置的舟頁(4)，所述舟頁(4)通過固定柱(5)相對平行限位，其特征在于，所述舟頁(4)上固定安裝權利要求1至6任一項所述的石墨卡點。
8.根據權利要求7所述的石墨舟，其特征在于，每個所述舟頁(4)上卡裝多個硅片，每個硅片由三個所述石墨卡點限位。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
