[實用新型]氣體流量傳感器芯片以及氣體流量傳感器

有效

• 申請號: 202020646368.6
• 申請日: 2020-04-24
• 公開（公告）號: CN212409799U
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 徐斌;牛東;劉治;孫運峰
• 申請（專利權）人: 緯湃汽車電子（長春）有限公司
• 主分類號: G01F15/00
• 分類號: G01F15/00;G01F15/12
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 湯國華

本實用新型提供一種氣體流量傳感器芯片，其包括基體以及感應膜片，所述基體設有通孔，感應膜片置于通孔處。感應膜片包括基片、置于基片上的加熱器、置于加熱器一側的第一熱電偶以及置于加熱器另一側的第二熱電偶，加熱器設有第一中心軸。第一熱電偶和第二熱電偶以第一中心軸為中心對稱設置。基片為壓電材料制成。本實用新型提供的氣體流量傳感器通過將基片設為壓電材料制成，可以起到對傳感器的清潔的效果。

技術領域

本實用新型涉及一種氣體流量傳感器芯片，尤其是一種帶有氣體流量傳感器芯片的氣體流量傳感器。

背景技術

現有的氣體流量傳感器包括流道以及氣體流量傳感器芯片。氣體流量傳感器芯片包括基體以及感應膜片，感應膜片置于流道內。基體設有通孔，感應膜片置于通孔處。所述感應膜片包括基片、置于基片上的加熱器、置于加熱器一側的第一熱電偶以及置于加熱器另一側的第二熱電偶。基片為硅材質制成。氣體流量傳感器在使用過程中，會有少部分污染物會落到感應膜片上，經過一段時間的沉積，污染物會越來越多，從而引起傳感器輸出信號的偏移。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種可以自清潔的氣體流量傳感器。

根據本實用新型的一個方面，提供一種氣體流量傳感器芯片，其包括基體以及感應膜片，所述基體設有通孔。感應膜片置于通孔處。所述感應膜片包括基片、置于基片上的加熱器、置于加熱器一側的第一熱電偶以及置于加熱器另一側的第二熱電偶。所述加熱器設有第一中心軸，第一熱電偶和第二熱電偶以第一中心軸為中心對稱設置。基片為壓電材料制成。

優選地，所述通孔包括設于基體的上表面的第一開口以及位于基體的下表面的第二開口，所述第一開口的面積小于第二開口的面積，所述感應膜片置于第一開口處。

優選地，所述通孔自第一開口通過平滑的方式過度到第二開口。

優選地，所述第一開口和第二開口均為方形，所述第一開口和第二開口為同心設置且設有相同的第二中心軸。

優選地，所述加熱器、第一熱電偶和第二熱電偶置于基片的上表面，所述基片的下表面朝向通孔。

優選地，所述感應膜片的厚度為40um至60um。

根據本實用新型的一個方面，還提供一種氣體流量傳感器，其包括流道以及氣體流量傳感器芯片。氣體流量傳感器芯片包括基體以及感應膜片，感應膜片置于流道內。基體設有通孔，感應膜片置于通孔處。所述感應膜片包括基片、置于基片上的加熱器、置于加熱器一側的第一熱電偶以及置于加熱器另一側的第二熱電偶，所述加熱器設有第一中心軸，所述第一熱電偶和第二熱電偶以第一中心軸為中心對稱設置。基片為壓電材料制成。

優選地，其還包括與基片信號連接的信號發生器。

優選地，所述流道包括主流道以及與主流道相連的第一分流道和第二分流道，所述第二分流道設有與主流道平行的水平段，所述感應膜片置于第二分流道的水平段。

優選地，所述第二分流到還包括與水平段相連的第一連接部和水平段相連的第二連接部，所述第一連接部與主流道和第一分流道相交，所述第二連接部與第一分流道的出口端相交。

本實用新型提供的氣體流量傳感器通過將基片設為壓電材料制成，可以起到對傳感器的清潔的效果。

附圖說明

圖1為本實用新型的氣體流量傳感器的主視圖。

圖2為本實用新型的氣體流量傳感器芯片的剖視圖。

圖3為基體的主視圖。

圖4為基體的后視圖。

圖5為感應膜片與信號發生器相連的示意圖。

具體實施方式