[實用新型]氣體流量傳感器芯片以及氣體流量傳感器

有效

• 申請號: 202020646368.6
• 申請日: 2020-04-24
• 公開（公告）號: CN212409799U
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 徐斌;牛東;劉治;孫運峰
• 申請（專利權）人: 緯湃汽車電子（長春）有限公司
• 主分類號: G01F15/00
• 分類號: G01F15/00;G01F15/12
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 湯國華

1.一種氣體流量傳感器芯片，其包括基體(21)以及感應膜片(22)，所述基體(21)設有通孔(213)，所述感應膜片(22)置于通孔(213)處，所述感應膜片(22)包括基片(221)、置于基片(221)上的加熱器(222)、置于加熱器(222)一側的第一熱電偶(223)以及置于加熱器(222)另一側的第二熱電偶(224)，所述加熱器(222)設有第一中心軸(L2)，所述第一熱電偶(223)和第二熱電偶(224)以第一中心軸(L2)為中心對稱設置，其特征在于，所述基片(221)為壓電材料制成。

2.如權利要求1所述的氣體流量傳感器芯片，其特征在于，所述通孔(213)包括設于基體(21)的上表面的第一開口(2131)以及位于基體(21)的下表面的第二開口(2132)，所述第一開口(2131)的面積小于第二開口(2132)的面積，所述感應膜片(22)置于第一開口(2131)處。

3.如權利要求2所述的氣體流量傳感器芯片，其特征在于，所述通孔(213)自第一開口(2131)通過平滑的方式過度到第二開口(2132)。

4.如權利要求2所述的氣體流量傳感器芯片，其特征在于，所述第一開口(2131)和第二開口(2132)均為方形，所述第一開口(2131)和第二開口(2132)為同心設置且設有相同的第二中心軸(L1)。

5.如權利要求1所述的氣體流量傳感器芯片，其特征在于，所述加熱器(222)、第一熱電偶(223)和第二熱電偶(224)置于基片(221)的上表面，所述基片(221)的下表面朝向通孔(213)。

6.如權利要求1所述的氣體流量傳感器芯片，其特征在于，所述感應膜片(22)的厚度為40um至60um。

7.一種氣體流量傳感器，其包括流道(1)以及氣體流量傳感器芯片(2)，所述氣體流量傳感器芯片(2)包括基體(21)以及感應膜片(22)，所述感應膜片(22)置于流道(1)內，所述基體(21)設有通孔(213)，所述感應膜片(22)置于通孔(213)處，所述感應膜片(22)包括基片(221)、置于基片(221)上的加熱器(222)、置于加熱器(222)一側的第一熱電偶(223)以及置于加熱器(222)另一側的第二熱電偶(224)，所述加熱器(222)設有第一中心軸(L2)，所述第一熱電偶(223)和第二熱電偶(224)以第一中心軸(L2)為中心對稱設置，其特征在于，所述基片(221)為壓電材料制成。

8.如權利要求7所述的氣體流量傳感器，其特征在于，其還包括與基片(221)信號連接的信號發生器(3)。

9.如權利要求7所述的氣體流量傳感器，其特征在于，所述流道(1)包括主流道(11)以及與主流道(11)相連的第一分流道(13)和第二分流道(12)，所述第二分流道(12)設有與主流道(11)平行的水平段(122)，所述感應膜片(22)置于第二分流道(12)的水平段(122)。

10.如權利要求9所述的氣體流量傳感器，其特征在于，所述第二分流道(12)還包括與水平段(122)相連的第一連接部(121)和水平段(122)相連的第二連接部(123)，所述第一連接部(121)與主流道(11)和第一分流道(13)相交，所述第二連接部(123)與第一分流道(13)的出口端(15)相交。