[實用新型]一種吸取治具的升降機構

有效

• 申請號: 202020636256.2
• 申請日: 2020-04-24
• 公開（公告）號: CN211879362U
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 邵嘉裕
• 申請（專利權）人: 上海世禹精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 上海遠同律師事務所 31307
• 代理人: 張堅

本實用新型提供了一種吸取治具的升降機構，包括基板、設于所述基板上的升降驅動裝置、與所述升降驅動裝置相連的升降板、穿設于所述升降板四角處的導向軸，所述導向軸的頂部與位于所述升降板上方的定位框相連，所述導向軸的底部穿過所述基板，與位于基板下方的所述吸取治具相連，其特征在于：所述定位框與升降板之間的導向軸上套設有第一彈簧。采用這樣的結構，吸取治具、導向軸、與定位框的重力作用在第一彈簧上，被第一彈簧的彈力抵消，有效降低了吸取治具與產品接觸時對產品的沖擊力，降低了產品損壞的幾率。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種吸取治具的升降機構。

背景技術

在半導體制造或者是其他高精尖的自動化行業中，產品的搬運通常是以真空吸附的方式進行的。通過真空發生器連接管路，以吸取治具中的吸嘴作為接觸媒介，進行產品的吸取并轉移，實現自動化搬運的過程。

上述常用的真空方式是目前大主流的搬運方式，但是依舊存在如下的使用缺陷：

缺點一：由于吸取治具自重較大，而部分產品又較為脆弱，在治具下降與產品接觸時，產品容易受到過大的沖擊而導致損壞。

缺點二：吸取治具與產品之間應保持完全水平，若因其中一個角翹曲過大，使吸取治具上有吸嘴未能完全與產品接觸的話，將會破壞整體密封性，導致真空失效，產品從吸嘴上掉落，而現有的升降機構并不具備相應的調平功能，不能有效保證吸取的可靠性。

實用新型內容

基于此，本實用新型提供了一種吸取治具的升降機構，能夠抵消掉治具本身自重，避免損傷產品。

本實用新型通過如下方式解決該技術問題：

一種吸取治具的升降機構，包括基板、設于所述基板上的升降驅動裝置、與所述升降驅動裝置相連的升降板、穿設于所述升降板四角處的導向軸，所述導向軸的頂部與位于所述升降板上方的定位框相連，所述導向軸的底部穿過所述基板，與位于基板下方的所述吸取治具相連，其特征在于：所述定位框與升降板之間的導向軸上套設有第一彈簧。

采用這樣的結構，吸取治具、導向軸、與定位框的重力作用在第一彈簧上，被第一彈簧的彈力抵消，有效降低了吸取治具與產品接觸時對產品的沖擊力，降低了產品損壞的幾率。

為實現吸取治具的調平功能，在本實用新型的進一步改進中，還包括設于所述定位框四角處的調平螺栓，所述調平螺栓包括一個底部具有頂頭的螺紋軸與一個能夠旋入所述螺紋軸的螺母，所述螺紋軸穿設于所述定位框中，所述頂頭面朝所述升降板布置，所述螺母安裝在所述螺紋軸伸出所述定位框的頂部上。

需要調平時，使用者轉動螺母，使螺紋軸相對于定位框向下移動，螺紋軸底部的頂頭與升降板相抵，將定位框一角頂起，由于定位框是通過導向軸與吸取治具直連的，也就由此實現了吸取治具的調平。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述導向軸上設有固定環，所述固定環與所述升降板之間的導向軸上套設有第二彈簧。通過第二彈簧向上彈力的作用，使所述調平螺栓的頂頭能夠始終與所述定位板相抵，避免吸取治具運行時發生晃動。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述升降驅動裝置包括設于所述基板上的升降架與設于所述升降架中的氣缸，所述升降架包括上框以及從上框四角向下延伸并與所述基板相連的導桿，所述導桿穿設于所述升降板中，所述氣缸底部與所述基板固定、頂部具有與所述升降板相連的活塞桿。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述升降板上裝有直線軸承，所述導向軸穿設于所述直線軸承中。由此來進一步提高運行穩定性。

綜合以上，本吸取治具的升降機構，能夠抵吸取治具下降時對產品的沖擊，降低產品損壞的概率，同時還能夠實現對吸取治具的調平，使吸取治具能夠更為可靠的吸取產品。

附圖說明