[實用新型]一種吸取治具的升降機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020636256.2
• 申請日: 2020-04-24
• 公開（公告）號: CN211879362U
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設計）人: 邵嘉裕
• 申請（專利權）人: 上海世禹精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 上海遠同律師事務所 31307
• 代理人: 張堅

1.一種吸取治具的升降機構，包括基板(3100)、設于所述基板(3100)上的升降驅(qū)動裝置、與所述升降驅(qū)動裝置相連的升降板(3300)、穿設于所述升降板(3300)四角處的導向軸(3600)，所述導向軸(3600)的頂部與位于所述升降板(3300)上方的定位框(3500)相連，所述導向軸(3600)的底部穿過所述基板(3100)，與位于基板(3100)下方的所述吸取治具(3800)相連，其特征在于：所述定位框(3500)與升降板(3300)之間的導向軸(3600)上套設有第一彈簧(3601)。

2.按照權利要求1所述的吸取治具的升降機構，其特征在于：還包括設于所述定位框(3500)四角處的調(diào)平螺栓(3700)，所述調(diào)平螺栓(3700)包括一個底部具有頂頭(3702)的螺紋軸(3701)與一個能夠旋入所述螺紋軸(3701)的螺母(3703)，所述螺紋軸(3701)穿設于所述定位框(3500)中，所述頂頭(3702)面朝所述升降板(3300)布置，所述螺母(3703)安裝在所述螺紋軸(3701)伸出所述定位框(3500)的頂部上。

3.按照權利要求2所述的吸取治具的升降機構，其特征在于：所述導向軸(3600)上設有固定環(huán)(3602)，所述固定環(huán)(3602)與所述升降板(3300)之間的導向軸(3600)上套設有第二彈簧(3603)。

4.按照權利要求1所述的吸取治具的升降機構，其特征在于：所述升降驅(qū)動裝置包括設于所述基板(3100)上的升降架(3200)與設于所述升降架(3200)中的氣缸(3400)，所述升降架(3200)包括上框(3201)以及從上框(3201)四角向下延伸并與所述基板(3100)相連的導桿(3202)，所述導桿(3202)穿設于所述升降板(3300)中，所述氣缸(3400)底部與所述基板(3100)固定、頂部具有與所述升降板(3300)相連的活塞桿。

5.按照權利要求1所述的吸取治具的升降機構，其特征在于：所述升降板(3300)上裝有直線軸承(3302)，所述導向軸(3600)穿設于所述直線軸承(3302)中。