[實(shí)用新型]一種用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020622569.2
• 申請(qǐng)日: 2020-04-22
• 公開（公告）號(hào): CN212800532U
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李培元;楊睿欣;杜淑娣;薛亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安航空制動(dòng)科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 中國(guó)航空專利中心 11008
• 代理人: 王世磊

本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置。攪動(dòng)裝置包括：混氣罐，設(shè)置于該混氣罐內(nèi)部的攪動(dòng)組件；其中，混氣罐的一端面設(shè)置有進(jìn)氣孔，另一端面與化學(xué)氣相沉積(CVD)爐體連通；攪動(dòng)組件包括軸體和沿軸體的周向均勻設(shè)置的至少三個(gè)葉片，軸體的兩端一一對(duì)應(yīng)的固設(shè)于混氣罐的兩端，且葉片與軸體的垂直面具有預(yù)設(shè)夾角。本實(shí)用新型實(shí)施例解決了現(xiàn)有制造碳剎車盤的工藝中，由于通入CVD爐的碳源氣體難以快速混合均勻，而導(dǎo)致CVD爐中的碳源氣體不能充分反應(yīng)，從而造成反應(yīng)速率下降，以及原料氣體反應(yīng)不充分而造成浪費(fèi)的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及但不限于剎車盤制造技術(shù)領(lǐng)域，尤指一種用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置。

背景技術(shù)

碳剎車盤的制造工藝是將碳纖維預(yù)制體疊放在化學(xué)氣相沉積(Chemical VaporDeposition，簡(jiǎn)稱為：CVD)爐內(nèi)，加熱至所要求的溫度，并在CVD爐內(nèi)通入不同種類的碳源氣體或惰性氣體混合物，例如為碳?xì)浠衔铩⒌獨(dú)獾龋荚礆怏w被加熱至一定溫度裂解、擴(kuò)散至多孔的預(yù)制體內(nèi)，部分熱解碳沉積在碳纖維周圍和空隙中使預(yù)制體致密，密度達(dá)到要求后，最終形成碳剎車盤。

由于進(jìn)行CVD工藝的碳源氣體可能為混合氣體，且不同分子量的碳源氣體的密度不同，若上述密度不同的混合氣體通入CVD爐時(shí)均勻性較差，則會(huì)導(dǎo)致碳源氣體進(jìn)CVD爐后不能充分反應(yīng)，使反應(yīng)速率下降，并且使得原料氣體反應(yīng)不充分而造成浪費(fèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置，以解決現(xiàn)有制造碳剎車盤的工藝中，由于通入CVD 爐的碳源氣體難以快速混合均勻，而導(dǎo)致CVD爐中的碳源氣體不能充分反應(yīng)，從而造成反應(yīng)速率下降，以及原料氣體反應(yīng)不充分而造成浪費(fèi)的問題。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置，包括：混氣罐，設(shè)置于所述混氣罐內(nèi)部的攪動(dòng)組件；

所述混氣罐的一端面設(shè)置有進(jìn)氣孔，另一端面與化學(xué)氣相沉積CVD爐體連通；

所述攪動(dòng)組件包括軸體和沿所述軸體的周向均勻設(shè)置的至少三個(gè)葉片，所述軸體的兩端一一對(duì)應(yīng)的固設(shè)于所述混氣罐的兩端，且所述葉片與所述軸體的垂直面具有預(yù)設(shè)夾角；

所述攪動(dòng)組件，被配置為所述葉片在氣流的作用下，沿所述軸體進(jìn)行軸向旋轉(zhuǎn)。

可選地，如上所述的用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置中，所述攪動(dòng)組件包括四個(gè)葉片。

可選地，如上所述的用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置中，所述葉片與所述軸體的垂直面的夾角在30度到60度之間。

可選地，如上所述的用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置中，所述葉片為梯形葉片，所述梯形葉片設(shè)置于穿過所述軸體的圓環(huán)上，所述圓環(huán)的直徑為所述混氣罐直徑的五分之一。

可選地，如上所述的用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置中，所述梯形葉片的短邊與所述圓環(huán)相連接，且所述四個(gè)葉片的短邊相加等于所述圓環(huán)的周長(zhǎng)，所述梯形葉片的長(zhǎng)邊為所述短邊的兩倍。

可選地，如上所述的用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置中，所述葉片的材料采用塑料、樹脂或PVC。

可選地，如上所述的用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置中，所述軸體設(shè)置于所述混氣罐的中心軸位置。

可選地，如上所述的用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置中，所述混氣罐的兩個(gè)端面分別設(shè)置有直徑與所述軸體直徑相同的凹槽，兩個(gè)所述凹槽用于一一對(duì)應(yīng)的插入所述軸體的兩端。

可選地，如上所述的用于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)氣體混合的攪動(dòng)裝置中，所述攪動(dòng)組件的直徑為所述混氣罐直徑的二分之一到三分之二。