[實用新型]一種用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置有效
| 申請號： | 202020622569.2 | 申請日： | 2020-04-22 |
| 公開（公告）號： | CN212800532U | 公開（公告）日： | 2021-03-26 |
| 發明（設計）人： | 李培元;楊睿欣;杜淑娣;薛亮 | 申請（專利權）人： | 西安航空制動科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 中國航空專利中心 11008 | 代理人： | 王世磊 |
| 地址： | 710075 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 化學 沉積 氣體 混合 攪動 裝置 | ||
1.一種用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，包括：混氣罐，設置于所述混氣罐內部的攪動組件；
所述混氣罐的一端面設置有進氣孔，另一端面與化學氣相沉積CVD爐體連通；
所述攪動組件包括軸體和沿所述軸體的周向均勻設置的至少三個葉片，所述軸體的兩端一一對應的固設于所述混氣罐的兩端，且所述葉片與所述軸體的垂直面具有預設夾角；
所述攪動組件，被配置為所述葉片在氣流的作用下，所述葉片沿所述軸體進行軸向旋轉。
2.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，所述攪動組件包括四個葉片。
3.根據權利要求1所述的用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，所述葉片與所述軸體的垂直面的夾角在30度到60度之間。
4.根據權利要求2所述的用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，所述葉片為梯形葉片，所述梯形葉片設置于穿過所述軸體的圓環上，所述圓環的直徑為所述混氣罐直徑的五分之一。
5.根據權利要求4所述的用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，所述梯形葉片的短邊與所述圓環相連接，且所述四個葉片的短邊相加等于所述圓環的周長，所述梯形葉片的長邊為所述短邊的兩倍。
6.根據權利要求1～5中任一項所述的用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，所述葉片的材料采用塑料、樹脂或PVC。
7.根據權利要求1～5中任一項所述的用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，所述軸體設置于所述混氣罐的中心軸位置。
8.根據權利要求1～5中任一項所述的用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，所述混氣罐的兩個端面分別設置有直徑與所述軸體直徑相同的凹槽，兩個所述凹槽用于一一對應的插入所述軸體的兩端。
9.根據權利要求1～5中任一項所述的用于化學氣相沉積爐內氣體混合的攪動裝置，其特征在于，所述攪動組件的直徑為所述混氣罐直徑的二分之一到三分之二。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
