[實用新型]半導體籽晶晶向測量工裝

有效

• 申請號: 202020598940.6
• 申請日: 2020-04-20
• 公開（公告）號: CN212134528U
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 趙延祥;劉波;程博;歷莉;馬玉懷
• 申請（專利權）人: 寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司
• 主分類號: G01N23/02
• 分類號: G01N23/02
• 代理公司: 寧夏合天律師事務所 64103
• 代理人: 孫彥虎

一種半導體籽晶晶向測量工裝，包括上部蓋體、下部蓋體，上部蓋體與下部蓋體鉸接，上部蓋體的一端設置有上部基準端面，上部蓋體的內部開設有上部籽晶卡槽，下部蓋體的一端設置有下部基準端面，下部基準端面與上部基準端面處于同側，下部蓋體上與上部籽晶卡槽相對應的位置開設有下部籽晶卡槽；本實用新型通過將籽晶夾持固定在上部籽晶卡槽及下部籽晶卡槽內，從而可以將籽晶固定，使光源可以在照射籽晶時，光源入設點固定不變，重復性穩定性變好；在將籽晶安放到上部籽晶卡槽及下部籽晶卡槽內，并固定放好后，人員不需要接觸，就可以進行測量，不會造成射線對人員的輻射傷害。

技術領域

本實用新型涉及半導體晶向測量技術領域，尤其涉及一種半導體籽晶晶向測量工裝。

背景技術

單晶硅棒在拉制前需要籽晶進行引晶,籽晶的晶向偏離直接影響了晶棒的晶向偏離度， 晶棒的晶向偏離度變化，會造成后加工較多不良，例如端面片，裂片，TTV超標，warp超標等不良問題。但是一般的拉晶企業，不會購買專用的籽晶加工設備，所以也就不存在籽晶晶向檢驗的專用設備，為了降低設備成本，可以使用其他類型的X—ray設備對籽晶的晶向偏離角進行檢驗；現有設備是非專用設備，在使用的時候存在以下問題：1、現有設備沒有籽晶測量時參考面；2、籽晶的光源入射點不能固定，導致測量的重復性，再現性變；3、人工手持扶正量會造成人員傷害。

發明內容

有鑒于此，有必要提供一種半導體籽晶晶向測量工裝。

一種半導體籽晶晶向測量工裝，包括上部蓋體、下部蓋體，上部蓋體設置在下部蓋體的上方，上部蓋體與下部蓋體鉸接，上部蓋體的一端設置有上部基準端面，上部蓋體的內部開設有上部籽晶卡槽，上部籽晶卡槽的一端沿上部基準端面向上部蓋體遠離上部基準面的一端延伸，并且上部籽晶卡槽不貫穿上部蓋體，下部蓋體的一端設置有下部基準端面，下部基準端面與上部基準端面處于同側，并且下部基準端面與上部基準端面重合，下部蓋體上與上部籽晶卡槽相對應的位置開設有下部籽晶卡槽，下部籽晶卡槽沿下部基準端面向下部蓋體遠離下部基準端面的一端延伸，并且下部籽晶卡槽不貫穿下部蓋體。

優選的，所述上部籽晶卡槽沿上部蓋體的軸線方向設置，下部籽晶卡槽沿下部蓋體的軸線方向設置，并且上部籽晶卡槽與下部籽晶卡槽相正對。

優選的，所述上部蓋體的四周邊緣固定設置有密封凸邊。

優選的，所述下部蓋體的四周邊緣設置有凹臺，凹臺的尺寸與密封凸邊的尺寸相匹配，以使密封凸邊卡住凹臺后將上部蓋體與下部蓋體閉合。

優選的，所述上部蓋體、下部蓋體上均設置有取料口，取料口分別對應的與上部籽晶卡槽、下部籽晶卡槽相交。

優選的，所述上部蓋體上固定設置有把手。

優選的，所述上部籽晶卡槽、下部籽晶卡槽的內部鋪設有軟體海綿。

本實用新型采用上述技術方案，其有益效果在于：該實用新型包括上部蓋體、下部蓋體，上部蓋體設置在下部蓋體的上方，上部蓋體與下部蓋體鉸接，上部蓋體的一端設置有上部基準端面，上部蓋體的內部開設有上部籽晶卡槽，上部籽晶卡槽的一端沿上部基準端面向上部蓋體遠離上部基準面的一端延伸，并且上部籽晶卡槽不貫穿上部蓋體，下部蓋體的一端設置有下部基準端面，下部基準端面與上部基準端面處于同側，并且下部基準端面與上部基準端面重合，下部蓋體上與上部籽晶卡槽相對應的位置開設有下部籽晶卡槽，下部籽晶卡槽沿下部基準端面向下部蓋體遠離下部基準端面的一端延伸，并且下部籽晶卡槽不貫穿下部蓋體；本實用新型通過將籽晶夾持固定在上部籽晶卡槽及下部籽晶卡槽內，利用工裝的基準面和測量設備的基準面相互吻合，從而可以將籽晶固定，使X光線可以在照射籽晶時，光源入設點固定不變，重復性穩定性變好；在將籽晶安放到上部籽晶卡槽及下部籽晶卡槽內，并固定放好后，人員不需要接觸，就可以進行測量，不會造成射線對人員的輻射傷害。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。