[實用新型]一種具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉淀設備

有效

• 申請號: 202020581293.8
• 申請日: 2020-04-18
• 公開（公告）號: CN212388113U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 李蜂
• 申請（專利權）人: 呂梁學院
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/44
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 陳月婷

1.一種具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉淀設備，包括主設備(1)、子設備(2)、控制鍵面板(5)和防護機構(6)，所述主設備(1)和子設備(2)前表面均設置有控制鍵面板(5)，其特征在于：所述控制鍵面板(5)可拆卸式安裝在主設備(1)或者子設備(2)側面且可對控制鍵面板(5)防護，所述防護機構(6)包括透明板(61)、右固定板(62)、左固定板(63)和限位組件(64)，所述右固定板(62)和左固定板(63)對稱安裝在主設備(1)側面，且通過螺釘固定，所述右固定板(62)和左固定板(63)前端伸出主設備(1)露在外側，且端部設置有矩形缺口，所述透明板(61)位于控制鍵面板(5)正前方，且左右兩側分別固定有固定凸塊(8)和連接板(9)。

2.根據權利要求1所述的一種具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉淀設備，其特征在于：所述固定凸塊(8)另一端位于左固定板(63)端部的缺口中，所述限位組件(64)轉動安裝在左固定板(63)缺口中，且可對固定凸塊(8)壓緊限位，所述限位組件(64)包括轉動板(641)和壓緊棉(642)，左視為“U”型的所述轉動板(641)開口端通過轉軸轉動安裝在缺口中。

3.根據權利要求2所述的一種具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉淀設備，其特征在于：所述轉動板(641)另一端后表面固定有與固定凸塊(8)接觸的壓緊棉(642)，所述轉動板(641)可左右轉動與固定凸塊(8)脫離或者接觸。

4.根據權利要求1所述的一種具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉淀設備，其特征在于：俯視為“L”型的所述連接板(9)自由端位于右固定板(62)的缺口中，且與右固定板(62)缺口轉動連接，所述透明板(61)可左右轉動將控制鍵面板(5)露出。

5.根據權利要求1所述的一種具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉淀設備，其特征在于：所述透明板(61)后表面固定有防護圈(7)，所述防護圈(7)位于控制鍵面板(5)外側且與主設備(1)表面擠壓接觸，所述防護圈(7)為海綿圈。

6.根據權利要求1所述的一種具有多個子反應器結構的金屬有機化學氣相沉淀設備，其特征在于：所述主設備(1)頂部安裝有金屬有機化學反應的反應容器(3)，所述子設備(2)與反應容器(3)之間連接有連接線(4)，且所述主設備(1)內部安裝有多個子反應器，所述子反應器為等離子反應器。