[實用新型]可容置晶舟盒的下沉式感應耦合電漿潔凈機

有效

• 申請號: 202020579909.8
• 申請日: 2020-04-17
• 公開（公告）號: CN211376582U
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 王輝
• 申請（專利權）人: 京隆科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/16;H01J37/32;H01L21/673;H01L21/67;B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 北京華夏博通專利事務所(普通合伙) 11264
• 代理人: 劉俊

1.一種可容置晶舟盒的下沉式感應耦合電漿潔凈機，其特征在于，包括：腔體、晶舟盒、抽真空設備、氣密門組件及電漿發射源，所述腔體內形成一腔室，所述腔體具有朝上的進入口，所述晶舟盒內承載著多片晶圓，所述晶舟盒是由所述進入口下沉進入所述腔室內，所述氣密門組件安裝于所述腔體上且位于所述進入口處，用以開閉且維持所述腔室的密封，所述電漿發射源與所述抽真空設備分別連通所述腔室，所述抽真空設備使所述腔室產生真空并維持所述腔室所需的真空度，所述電漿發射源對所述腔室內發射感應耦合式電漿，以轟擊去除所述晶舟盒及所述晶圓表面的污染物。

2.根據權利要求1所述的可容置晶舟盒的下沉式感應耦合電漿潔凈機，其特征在于，所述晶舟盒相對兩側各具有開口，其中一個所述開口對應著所述電漿發射源。

3.根據權利要求1所述的可容置晶舟盒的下沉式感應耦合電漿潔凈機，其特征在于，所述腔室相對的兩邊分別連通著所述電漿發射源與所述抽真空設備。

4.根據權利要求2所述的可容置晶舟盒的下沉式感應耦合電漿潔凈機，其特征在于，所述腔室內放置多個并排的所述晶舟盒，每個所述晶舟盒的其中一個所述開口皆對應著所述電漿發射源。

5.根據權利要求1所述的可容置晶舟盒的下沉式感應耦合電漿潔凈機，其特征在于，所述氣密門組件包括兩滑軌、兩滑塊、門板及驅動裝置，所述兩滑軌安裝于所述腔體上于所述進入口兩側位置，兩所述滑塊可在相對應的所述滑軌上滑行且安裝于所述門板兩側，所述驅動裝置帶動所述門板產生線性往復移動，由移動所述門板開啟或密封所述腔室。