[實用新型]精密陶瓷工作臺

有效

• 申請號: 202020565333.X
• 申請日: 2020-04-16
• 公開（公告）號: CN212265598U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 余俊榮
• 申請（專利權）人: 鴻鎷科技有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;B25H1/08
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

本實用新型涉及一種精密陶瓷工作臺，包含：底座，具有數個氣體流道及貫通孔，各個氣體流道為空氣連通于貫通孔，貫通孔貫通于底座；抗靜電多通孔精密陶瓷盤，設置于底座的上表面，抗靜電多通孔精密陶瓷盤具有數個通孔，各個通孔貫通于抗靜電多通孔精密陶瓷盤，數個通孔連通于氣體流道而空氣連通于空氣泵，抗靜電多通孔精密陶瓷盤的上表面為工件吸附面，使得空氣泵經由貫通孔、氣體流道、抗靜電多通孔精密陶瓷盤的通孔而對工件產生吸力。

技術領域

本實用新型涉及一種精密陶瓷工作盤，特別是涉及一種抗靜電的精密陶瓷工作臺。

背景技術

精密陶瓷工作盤是一種吸附工件以便于進行加工的器具。精密陶瓷工作盤利用空氣泵抽氣而在多通孔精密陶瓷盤的工件吸附面上產生吸附工件的吸力。由此，使得工件的位置固定。空氣泵也可以對精密陶瓷工作盤提供空氣，而使得工件解除吸附甚至是懸浮在精密陶瓷工作盤上。

然而，現有的精密陶瓷工作盤與工件的多次碰觸所產生的靜電難以消散，使得靜電會逐漸累積而對工件造成靜電放電(electrostatic discharge，ESD)現象。靜電放電會減損或破壞工件的特性，使得產品的質量、良率下降。

實用新型內容

因此，本實用新型的目的即在提供一種精密陶瓷工作臺，能避免靜電逐漸累積，從而避免靜電放電。

本實用新型為解決現有技術的問題所采用的技術手段提供一種精密陶瓷工作臺，包含：底座，具有數個氣體流道及貫通孔，各個該氣體流道為空氣連通于該貫通孔，該貫通孔貫通于該底座的上表面及下表面之間；抗靜電多通孔精密陶瓷盤，設置于該底座的上表面，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤為抗靜電材料且具有數個通孔，各個通孔貫通于該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的上表面及下表面之間，數個該通孔連通于該氣體流道而空氣連通于空氣泵，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤的該上表面為工件吸附面。

在本實用新型的一實施例中提供一種精密陶瓷工作臺，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤為碳化硅陶瓷盤、磷酸鋁陶瓷盤及氧化鋁陶瓷盤的其中一種。

在本實用新型的一實施例中提供一種精密陶瓷工作臺，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤為碳化硅-磷酸鋁復合陶瓷盤、磷酸鋁-氧化鋁復合陶瓷盤、碳化硅-氧化鋁復合陶瓷盤或碳化硅-磷酸鋁-氧化鋁復合陶瓷盤。

在本實用新型的一實施例中提供一種精密陶瓷工作臺，該底座于上表面形成有槽體，該抗靜電多通孔精密陶瓷盤設置于該槽體中。

在本實用新型的一實施例中提供一種精密陶瓷工作臺，該氣體流道為凹下于該底座的上表面。

在本實用新型的一實施例中提供一種精密陶瓷工作臺，該氣體流道為以左右對稱及上下對稱的方式而分布。

經由本實用新型的精密陶瓷工作臺所采用的技術手段，在抗靜電多通孔精密陶瓷盤因感應而產生的靜電時，或者在抗靜電多通孔精密陶瓷盤碰觸到工件而產生靜電時，靜電能逐漸消散而避免靜電的累積，從而避免靜電放電及靜電放電對產品造成的影響。

附圖說明

圖1為顯示根據本實用新型的第一實施例的精密陶瓷工作臺的俯視示意圖。

圖2為顯示根據本實用新型的第一實施例的精密陶瓷工作臺的底座的俯視示意圖。

圖3為顯示根據本實用新型的第一實施例的精密陶瓷工作臺的仰視示意圖。

圖4為顯示根據本實用新型的第二實施例的精密陶瓷工作臺的俯視示意圖。

附圖標記

100 精密陶瓷工作臺

100a 精密陶瓷工作臺

1 底座

11 氣體流道

12 貫通孔