[實用新型]精密陶瓷工作臺有效
| 申請號： | 202020565333.X | 申請日： | 2020-04-16 |
| 公開（公告）號： | CN212265598U | 公開（公告）日： | 2021-01-01 |
| 發明（設計）人： | 余俊榮 | 申請（專利權）人： | 鴻鎷科技有限公司 |
| 主分類號： | B25B11/00 | 分類號： | B25B11/00;B25H1/08 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 中國臺灣桃園*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 精密 陶瓷 工作臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種精密陶瓷工作臺，其特征在于，包含：
底座，具有數個氣體流道及貫通孔，各個所述的氣體流道為空氣連通于所述的貫通孔，所述的貫通孔貫通于所述的底座的上表面及下表面之間；
抗靜電多通孔精密陶瓷盤，設置于所述的底座的上表面，所述的抗靜電多通孔精密陶瓷盤具有數個通孔，各個通孔貫通于所述的抗靜電多通孔精密陶瓷盤的上表面及下表面之間，數個所述的通孔連通于所述的氣體流道而空氣連通于空氣泵，所述的抗靜電多通孔精密陶瓷盤的上表面為工件吸附面。
2.根據權利要求1所述的精密陶瓷工作臺，其特征在于，所述的抗靜電多通孔精密陶瓷盤為碳化硅陶瓷盤、磷酸鋁陶瓷盤及氧化鋁陶瓷盤的其中一種。
3.根據權利要求1所述的精密陶瓷工作臺，其特征在于，所述的抗靜電多通孔精密陶瓷盤為碳化硅-磷酸鋁復合陶瓷盤、磷酸鋁-氧化鋁復合陶瓷盤、碳化硅-氧化鋁復合陶瓷盤或碳化硅-磷酸鋁-氧化鋁復合陶瓷盤。
4.根據權利要求1所述的精密陶瓷工作臺，其特征在于，所述的底座于上表面形成有槽體，所述的抗靜電多通孔精密陶瓷盤設置于所述的槽體中。
5.根據權利要求1所述的精密陶瓷工作臺，其特征在于，所述的氣體流道為凹下于所述的底座的上表面。
6.根據權利要求1所述的精密陶瓷工作臺，其特征在于，所述的氣體流道為以左右對稱及前后對稱的方式而分布。
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