[實用新型]一種半導體光刻板移動機構

有效

• 申請號: 202020564337.6
• 申請日: 2020-04-15
• 公開（公告）號: CN212113621U
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 徐瑩
• 申請（專利權）人: 林麗琴
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種半導體光刻板移動機構，其結構包括運輸板、滑動連接塊、滑軌、連接斜板、滑軌體、支撐底塊、側連接塊、圓桿,本實用新型一種半導體光刻板移動機構，在將光刻板放置在運輸板上的時候，光刻板會先于板體上的吸附塊頂端相接觸，從而使其能夠對光刻板產生一定的吸附，在運輸板快移動到加工設備上的時候，板體底部上的活動連接塊便于與軌體上的圓桿相接觸，從而使活動連接塊受力向上移動，帶動抽動連接桿上移，使抽板上推，將吸附光刻板推起，使吸附塊接觸對光刻板的吸附方便進行卸下，使設備在進行使用的時候，其上的運輸板能夠較好的對光刻板進行吸附固定，在要將其卸下的時候，自動解除吸附，提高了設備對光刻板運輸的穩定性。

技術領域

本實用新型是一種半導體光刻板移動機構，屬于光刻板移動設備技術領域。

背景技術

半導體光刻板移動機構是光刻板加工設備的連接機構之一，其上設有運輸板，運輸驅動機構，能夠較好的對光刻板進行移動，方便其到連接設備上進行加工，但是現有技術的仍存在以下缺陷：

移動機構在進行使用的時候，為了方便將光刻卸下來，往往是采用直接平放的方式來將光刻板放置在運輸板進行運輸，該方法易在設備發生震動的時候，使其上的光刻板發生偏移抖動，從而對其放置方位造成影響甚至受設備運行震動的影響而滑落下來，影響設備對光刻板進行運輸。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種半導體光刻板移動機構，以解決的現有技術移動機構在進行使用的時候，為了方便將光刻卸下來，往往是采用直接平放的方式來將光刻板放置在運輸板進行運輸，該方法易在設備發生震動的時候，使其上的光刻板發生偏移抖動，從而對其放置方位造成影響甚至受設備運行震動的影響而滑落下來，影響設備對光刻板進行運輸的問題。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種半導體光刻板移動機構，其結構包括運輸板、滑動連接塊、滑軌、連接斜板、滑軌體、支撐底塊、側連接塊、圓桿,所述運輸板的底端與滑動連接塊的頂端為一體化結構，所述滑軌與滑軌體為一體化結構，所述支撐底塊的頂端與滑軌體的底端相焊接，所述側連接塊的右端與滑軌體的左端相焊接，所述圓桿設于滑軌體上，所述連接斜板的左端與滑軌體的右端相焊接，所述運輸板包括抽動連接桿、滑動彈簧槽、吸附塊、抽板、板體、活動連接塊、彈簧，所述抽動連接桿的底端與活動連接塊的頂端相焊接，所述滑動彈簧槽與板體的頂端為一體化結構，所述吸附塊嵌入安裝在滑動彈簧槽上，所述抽板嵌入安裝在吸附塊上，所述抽板的底端與抽動連接桿的頂端相焊接，所述活動連接塊位于板體的正下方，所述彈簧嵌入安裝在滑動彈簧槽內，所述板體的底端滑動連接塊的頂端為一體化結構。

進一步地，所述運輸板位于支撐底塊的正上方。

進一步地，所述滑動連接塊嵌入安裝在滑軌上。

進一步地，所述滑動彈簧槽為環形空槽結構。

進一步地，所述抽動連接桿與抽板相互垂直。

進一步地，所述抽板為圓板結構。

進一步地，所述吸附塊采用橡膠材質制成，具有一定的彈性。

有益效果

本實用新型一種半導體光刻板移動機構，通過將光刻板放置在運輸板上，使運輸板上的滑動連接塊在滑軌上進行滑動，接對光刻板進行移動，使其來到連接設備上進行加工，在將光刻板放置在運輸板上的時候，光刻板會先于板體上的吸附塊頂端相接觸，而吸附塊具有一定的彈性，從而使其能夠對光刻板產生一定的吸附力，在運輸板快移動到加工設備上的時候，板體底部上的活動連接塊便于與軌體上的圓桿相接觸，從而使活動連接塊受力向上移動，帶動抽動連接桿上移，使抽板上推，將吸附光刻板推起，使吸附塊接觸對光刻板的吸附方便進行卸下，通過改進設備的結構，使設備在進行使用的時候，其上的運輸板能夠較好的對光刻板進行吸附固定，在要將其卸下的時候，自動解除吸附，提高了設備對光刻板運輸的穩定性。